 |
Реклама. ООО "ГК "ВЕЛУНД СТАЛЬ СЗ" Erid: 2SDnjeQyn2n
| |
Вакуумные технологические установки, используемые для нанесения тонкопленочных покрытий, нередко имеют значительный срок эксплуатации. При этом их механическая часть зачастую сохраняет работоспособность, тогда как системы управления, электропитания и контроля параметров устаревают морально и физически. В таких случаях модернизация оборудования становится эффективной альтернативой полной замене установки.
В данной статье рассматривается модернизация вакуумной установки ВУ-2М, предназначенной для нанесения покрытий методом резистивного испарения.
Исходное состояние установки
К моменту начала проекта установка ВУ-2М требовала комплексной модернизации. Основные проблемы заключались в следующем:
- устаревшая система управления, не позволяющая реализовать автоматизированный режим работы;
- изношенная гидравлическая система, не пригодная для обеспечения автоматизации технологического процесса;
- необходимость проверки герметичности вакуумной системы;
- необходимость профилактики вакуумных насосов и вакуумной арматуры;
- устаревшие средства контроля технологических параметров.
Задачей проекта стало восстановление работоспособности установки и внедрение современной системы управления с возможностью автоматизации технологического процесса нанесения покрытий.
Подход к модернизации
Модернизация установки была реализована в два этапа. Первый этап включал восстановление и обновление ключевых систем оборудования, а также внедрение новой системы управления.
Новая система управления
Одним из ключевых элементов модернизации стало изготовление новой стойки управления и питания установки.
В качестве аппаратной платформы были использованы технологические контроллеры Siemens, обеспечивающие надежное управление технологическим оборудованием и возможность дальнейшего расширения функциональности системы.
Контроллеры, силовые блоки и вспомогательное оборудование были размещены в отдельном шкафу управления. Такая компоновка позволила:
- повысить надежность работы системы;
- упростить обслуживание оборудования;
- обеспечить удобство модернизации в будущем.
Проверка и восстановление вакуумной системы
В рамках модернизации была проведена проверка вакуумной системы установки.
Основные работы включали:
- проверку герметичности вакуумной камеры;
- восстановление элементов герметизации;
- доведение параметров вакуумной системы до требований, указанных в паспорте установки.
При необходимости были изготовлены дополнительные элементы герметизации.
Профилактика вакуумного оборудования
Особое внимание было уделено вакуумному оборудованию.
Проведены следующие работы:
- профилактика форвакуумного насоса;
- профилактика высоковакуумного агрегата;
- замена вакуумного масла;
- проверка работоспособности вакуумного затвора.
Эти мероприятия позволили восстановить стабильную работу вакуумной системы.
Проверка вакуумных датчиков
Для обеспечения корректного контроля технологического процесса были проверены вакуумные датчики ПМТ-6.3 и ПММ-32-1. По результатам диагностики часть датчиков была заменена.
Замена гидравлической системы
Существующая гидравлическая система установки не обеспечивала возможности автоматизации оборудования. В ходе модернизации она была полностью заменена.
Новая система обеспечивает корректную работу механизмов установки в автоматическом режиме.
Модернизация блока испарителей
Проведена проверка блока резистивных испарителей. В рамках работ были проверены:
- трансформаторы питания;
- электрические соединения;
- уплотнительные элементы.
При необходимости выполнена замена отдельных компонентов.
Система измерения температуры
Для повышения точности контроля технологического процесса был заменен блок измерения температуры.
Это позволило повысить стабильность параметров нанесения покрытий.
Механическая часть
В ходе модернизации был заменен привод вращения технологической оснастки, что позволило обеспечить стабильную работу механизма в автоматическом режиме.
Также была проведена проверка работоспособности ионизатора.
Электромонтаж и интеграция систем
После модернизации отдельных узлов был выполнен полный электрический монтаж установки.
На этом этапе были:
- подключены системы управления;
- интегрированы датчики и исполнительные механизмы;
- выполнена настройка оборудования.
Программное обеспечение
Для обеспечения автоматической работы установки была разработана и откорректирована программа управления технологическим процессом.
Программное обеспечение обеспечивает работу установки:
- в полуавтоматическом режиме;
- в полностью автоматическом режиме при нанесении покрытий резистивными испарителями.
Испытания установки
После завершения монтажных и программных работ установка прошла проверку в рабочих режимах.
Были проведены испытания:
- в полуавтоматическом режиме;
- в автоматическом режиме.
Испытания подтвердили корректную работу всех систем установки.
Дополнительные возможности
По согласованию с заказчиком в систему может быть интегрирован кварцевый контроль толщины покрытий, позволяющий осуществлять оперативный контроль параметров напыления.
Второй этап модернизации
Второй этап модернизации предусматривает проведение работ по модернизации электронно-лучевого испарителя (ЭЛИ).
Данный этап может включать применение спектровизора для расширения возможностей контроля технологического процесса. Конфигурация второго этапа определяется совместно с заказчиком.
Сроки реализации проекта
Ориентировочный срок выполнения первого этапа модернизации составил 6–7 месяцев.
Все работы по модернизации установки выполнялись на производственных площадях исполнителя, что позволило провести полный комплекс работ по восстановлению и настройке оборудования.
Заключение
Модернизация вакуумной установки ВУ-2М позволила восстановить её работоспособность и внедрить современные средства автоматизации технологического процесса.
В результате проведенных работ установка получила:
- современную систему управления на базе контроллеров Siemens;
- обновленную вакуумную систему;
- модернизированные узлы испарения;
- новые системы контроля технологических параметров;
- возможность работы в полуавтоматическом и автоматическом режимах.
Подобные проекты демонстрируют, что модернизация существующего оборудования может значительно продлить срок его эксплуатации и повысить эффективность технологических процессов.
Подробнее об услугах можно узнать на странице:
https://vacuum-plants.ru/products/vacuum-systems/service
ООО «Технологии и Предложения» — это надёжный партнёр для предприятий, которые ценят стабильность, качество и технологическое развитие. Реклама. ООО "СНАБСТАЛЬ" Erid: 2SDnjdFmBBV |
| 
НОВЫЕ ОБЪЯВЛЕНИЯ
НОВОСТИ
НОВЫЕ СТАТЬИ