Центральный металлический портал РФлучшие сервисы для Вашего бизнеса

 ГЛАВНАЯ   МЕТАЛЛОТОРГОВЛЯ   ОБЪЯВЛЕНИЯ   ПРАЙСЫ   КОМПАНИИ   СТАТЬИ   РАБОТА   ФОРУМ   ГОСТы   МАРОЧНИК   КАЛЬКУЛЯТОР   БИРЖЕВЫЕ ЦЕНЫ   ВЫСТАВКИ  

Полезные статьи -> Защита от коррозии металла, гальваника, ЭХО -> Осаждение покрытий из паровой фазы в вакууме -> Вакуумное напыление -> Вакуумное напыление

Вакуумное напыление

Оглавление статьи Страницы статьи:  1  2  3  4  5  6 

При высоком вакууме для определения быстроты действия вакуумного насоса имеет значение не столько объем приемника, сколько количество газов и паров, выделяемых во время откачки с поверхностей приемника и смонтированного в нем оборудования, а также из конденсирующегося там пористого металлического покрытия. Количество этих связанных на поверхности газов и паров во время откачки в высоком вакууме гораздо больше их количества, первоначально имевшегося в объеме приемника. Необходимое время откачки может в 100 раз превышать требовавшееся до достижения предварительного вакуума. Количества адсорбированных газов зависят от вида, свойств поверхности и температуры материала приемника и смонтированного в нем оборудования, а также от продолжительности предшествовавшего обдува (контакта с воздухом и от влажности воздуха). В качестве материалов хорошо зарекомендовали себя хромоникелевые стали с гладкой поверхностью. Затраты на получение вакуума составляют примерно одну треть всех капиталовложений и издержек на энергию.

5.2.3. НАГРЕВ ПОЛОСЫ ПЕРЕД НАНЕСЕНИЕМ ПОКРЫТИЯ

Стальная полоса, входящая в вакуумную часть агрегата для нанесения покрытий из паровой фазы, сначала подогревается в камере предварительного подогрева (при давлении р < < 10-1 Па) для удаления термическим способом адсорбированных газов и слоев жидкости (толщиной в несколько десятков нанометров); получения температуры подложки, необходимой для оптимального формирования слоя из паровой фазы и для достаточной прочности его сцепления с основным металлом; обеспечения требуемого внешнего вида покрытия, наносимого из паровой фазы.

Чтобы гарантировать оптимальную прочность сцепления покрытия, осажденного из паровой фазы, минимальная температура предварительного подогрева стальной полосы при напылении алюминия должна составлять 200 °С, при напылении меди 350 °С и при напылении никеля 100 °С.

При выборе способа подогрева необходимо учитывать, что подогрев происходит в вакууме; нужно иметь возможность легкой перестройки мощности источника тепла на другую толщину и ширину стальной полосы; нужно иметь в распоряжении большую тепловую мощность при высокой скорости и большой толщине полосы; нужно достигнуть требуемое распределение температуры по поперечному сечению полосы; должна быть обеспечена высокая эксплуатационная надежность; необходимо избегать механических повреждений полосы.

Эти требования с достаточной полнотой выполняются при нагреве электронно-лучевыми устройствами. На рис. 5.12 показана схема предварительного подогрева полосы пучком электронных лучей, расходящимся по ширине полосы. При достаточно большой частоте развертки разность температур по ширине и длине полосы АТ/Т 5 %.

По физическим и техническим причинам степень использования энергии (к. п. д. подогрева) в настоящее время не превышает примерно 50 %. Несмотря на такой низкий к. п. д. и значительные капиталовложения, преимущества электронно-лучевого предварительного подогрева все же очевидны.

5.2.4. НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЯ ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫ

Вакуумное нанесение покрытия на стальную полосу осуществляется в камерах высокого вакуума. При этом необходимо обеспечить подогрев испаряемого материала покрытия и иметь возможность дополнительной загрузки испаряемого материала.

5.2.4.1. Нагрев испаряемого материала

Способ подогрева выбирается в зависимости от вида испаряемого материала, требуемой скорости испарения, необходимой равномерности толщины слоя, склонности испаряемого материала к реакции с материалом тигля и т. д. В случае легко испаряющихся металлов типа цинка, свинца и кадмия, при которых достигаются скорости испарения в высоком вакууме около 1 г/(см2-с) уже при температуре ниже 900 °С, применяют в первую очередь системы индукционного подогрева.

При нанесении на стальную полосу покрытия из трудно испаряющихся материалов с высокой скоростью испарения в промышленных условиях осуществлен прямой нагрев поверхности жидкой ванны лучами высокой энергии, например электронными и лазерными.

Применение лазерных лучей в оборудовании для нанесения покрытий из паровой фазы пока еще находится на стадии исследований, тогда как электронные лучи уже используют в промышленности в широких масштабах. При передаче энергии электронными лучами на поверхность ванны можно получить требуемую локальную высокую плотность энергии. При этом не нужно одновременно нагревать все содержимое тигля; достаточно подогреть только поверхность ванны до требуемой высокой температуры испарения. В результате температурная нагрузка на тигель получается меньшей, чем при других способах нагрева. Основной принцип получения электронного луча для нагрева и испарения материалов заключается (как и в телевизионной трубке) в эмиссии (испускании) электронов из предварительно подогретого катода (предпочтительно вольфрамового), в ускорении электронов приложенным напряжением, фокусировании и развертке электронного луча магнитными линзами и системами развертки. Получать электронный луч нужно в вакууме (при давлении р < 10-2 Па). В противоположность телевизионным трубкам устройства для нагрева электронными лучами (в частности, в установках для нанесения покрытий из паровой фазы) рассчитаны на очень высокие мощности.

В электронно-лучевые генераторы (пушки) разработаны Научно-исследовательским институтом им. Манфреда фон Арденне и внедрены в промышленность совместно с Народным предприятием Kombinat VEB Lokomotivbau — Elektrotechnische Werke Hennigsdorf и другими предприятиями.

Мощности этих генераторов в печах для электронно-лучевой плавки доходят до 1200 кВт, а в агрегатах для вакуумного нанесения покрытий доведены до 250 кВт.

На рис. 5.16 показана схема электронно-лучевой пушки мощностью 200 кВт. Особенностями этой пушки являются получение осесимметричного луча и раздельная откачка системы генерации электронного луча и камеры нанесения покрытия из паровой фазы.

На стенд с испарителями электронный луч поступает горизонтально и при помощи электромагнитного отклоняющего поля (система 2) направляется на поверхность испаряемого материала. Поскольку испарение

на поверхности ванны происходит практически только в фокусе — месте встречи с электронным лучом, луч направляют при помощи электронного блока развертки (система 1) на всю поверхность ванны.

Паровое облако над испаряемым материалом при местных различиях в интенсивности испарения оказывает выравнивающее влияние на распределение толщины слоя по ширине полосы. При учете этого влияния регулировать толщину слоя можно с помощью системы развертки электронного луча.

Толщина покрытия, которую можно получить при осаждении из паровой фазы в вакууме, зависит в первую очередь от мощности электронного луча. Управлять мощностью можно изме-

Оглавление статьи Страницы статьи:  1  2  3  4  5  6 

Автор: Администрация   Общая оценка статьи:    Опубликовано: 2011.11.03   

_ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _

ЛИЧНЫЙ КАБИНЕТ:



запомнить  Регистрация

Металлоторговля:
Объявления
Прайсы (по торг. позициям)
Прайсы (в файлах)

Марки металлов
Калькулятор веса металла

Новости

НОВЫЕ ОБЪЯВЛЕНИЯ

17:51 Металлорежущие станки плазменной и газовой резки

13:39 Лист 14Х17Н2 размер 3, 4, 10, 16, 20, 25, 40 мм.

13:39 Шестигранник 14Х17Н2 s:27, 32, 36, 46, 55, 65 мм

13:39 Лист сталь 40Х13 размер 2, 3, 6, 10, 14, 20, 30 мм

13:39 Круг 10Х17Н13М2Т ф 30, 40, 50, 60, 70, 250, 500 мм

13:38 Круг 40Х ф 220, 250, 280, 300, 320, 380, 400 мм

13:38 Круг 13ХФА диаметр 30, 40, 50, 60, 70, 80, 90 мм

13:38 Круг 95Х18 размер 5, 6, 7, 8, 9, 10, 20, 90, 120

13:38 Круг 45Х14Н14В2М размер 18, 20, 28, 32, 36, 40, 47

13:38 Круг 4Х5МФС диаметр 30, 40, 50, 60, 70, 80, 90 мм

НОВОСТИ

22 Марта 2017 17:47
Различные виды сварки трением

22 Марта 2017 14:08
Необычные строения из алюминия в Японии (17 фото)

20 Марта 2017 23:31
Станки и оборудование специалисты смогут выбрать на выставке Mashex Siberia

23 Марта 2017 17:11
Хабаровские машиностроители применяют метод ионного азотирования деталей

23 Марта 2017 16:53
Вьетнамский импорт стали в феврале вырос на 17,6%

23 Марта 2017 15:10
”УВЗ” создал для металлургов уникальный вагон-хоппер

23 Марта 2017 14:48
Американский импорт сортовой стали в феврале 2017 года упал на 19%

23 Марта 2017 14:02
”Мечел-Cервис” поставил арматуру для строительства первого в России ветропарка

НОВЫЕ СТАТЬИ

Труба из нержавеющей стали: классификация и область применения

Разновидности труб из коррозионностойкой стали и их применение в бытовых и промышленных условиях

Труба нержавеющая 20Х23Н18 для химпрома

Труба нержавеющая в обеспечении комфортной работы предприятий

Купить металлопрокат в Тамбове

Что лучше: купить квартиру с отделкой или без отделки?

Технологии остекления балконов и цены в Киеве

Гравировка на металле: улучшаем офис для успеха в бизнесе

Кварцевый агломерат и виды искусственного камня

Теплый электрический пол для квартиры

Основные виды запчастей для автомобильного двигателя

Электрические защитные автоматы для квартиры

Распространенные сертификаты в промышленности

Решетчатые и прессованные настилы в промышленности

Дробилки и их применение в канализационных сетях

Использование трубы нержавеющей 12Х18Н10Т в машиностроении и других остраслях

Труба нержавеющая 10Х17Н13М2Т в отраслях промышленности

Труба нержавеющая 06ХН28МДТ в котельной промышленности

 ГЛАВНАЯ   МЕТАЛЛОТОРГОВЛЯ   ОБЪЯВЛЕНИЯ   ПРАЙСЫ   КОМПАНИИ   СТАТЬИ   РАБОТА   ФОРУМ   ГОСТы   МАРОЧНИК   КАЛЬКУЛЯТОР   БИРЖЕВЫЕ ЦЕНЫ   ВЫСТАВКИ  

Компания "РДМ" предлагает металлопрокат.

Рейтинг@Mail.ru

О портале : Информация и правила : Реклама : Тарифы для компаний : Наши контакты : Связаться : Личный кабинет : Регистрация

2009-2017 © Любое копирование материалов без активной ссылки на metallicheckiy-portal.ru запрещено!
Использование материалов в печатных изданиях только с разрешения администрации портала.