Центральный металлический портал РФлучшие сервисы для Вашего бизнеса

 ГЛАВНАЯ   МЕТАЛЛОТОРГОВЛЯ   ОБЪЯВЛЕНИЯ   ПРАЙСЫ   КОМПАНИИ   СТАТЬИ   РАБОТА   ФОРУМ   ГОСТы   МАРОЧНИК   КАЛЬКУЛЯТОР   БИРЖЕВЫЕ ЦЕНЫ   ВЫСТАВКИ  

Полезные статьи -> Защита от коррозии металла, гальваника, ЭХО -> Осаждение покрытий из паровой фазы в вакууме -> Вакуумное напыление -> Вакуумное напыление

Вакуумное напыление

Оглавление статьи Страницы статьи:  1  2  3  4  5  6 

5.1.3. ФАКТОРЫ, ВЛИЯЮЩИЕ НА КАЧЕСТВО СЛОЕВ ПОКРЫТИЯ ПРИ ВАКУУМНОМ НАПЫЛЕНИИ

Важными параметрами качества слоев покрытия, осажденных на стальной полосе из паровой фазы, являются прочность сцепления, пористость, коррозионная стойкость и внешний вид поверхности. При осаждении из паровой фазы алюминия эти показатели зависят главным образом от толщины слоя и температуры предварительного подогрева.

Другие параметры, например уровень давления и высота микронеровностей (Rt), в используемых в промышленности диапазонах их изменения (до 0,13 Па и до 3 мкм) оказывают слабое влияние. Аналогичные зависимости установили И. Л. Ройх и Л. Н. Колтунова для элементов типа титана, свинца, цинка и кадмия. Для кадмия, впрочем, отмечено неблагоприятное влияние давления на качество осажденного из паровой фазы покрытия уже при уровне давления более 7.102 Па.

5.1.4. ИСПАРЕНИЕ СПЛАВОВ

Давление насыщенного пара над сплавом подчиняется закону парциальных давлений.

Для каждой постоянной температуры испарения давления паров отдельных компонентов сплава обычно бывают различными. В паровой фазе преобладает концентрация того компонента, который имеет более высокое давление пара. Расплав и пар в процессе испарения постоянно обедняются компонентом с более высоким

давлением пара. Поэтому при испарении сплава без подвода в металлическую ванну дополнительных материалов происходит постоянное изменение состава слоя покрытия, осаждаемого из паровой фазы. Чтобы все же получить слой сплава со строго определенным и постоянным составом, применяют следующие способы: испарение из нескольких тиглей и смешение в паровой фазе; испарение из ванны жидкого расплава с постоянным подводом сплава требуемого химического состава; испарение небольшой доли гораздо большего запаса испаряемого вещества в тигле, так что обеднение легколетучими компонентами остается незначительным; «мгновенное» испарение или испарение в виде «вспышки», т. е. быстрое испарение всего имеющегося испаряемого материала без остатка.

Оба первых способа могут иметь значение для нанесения покрытия на полосу из паровой фазы.

5.1.5. ИОННОЕ ПЛАКИРОВАНИЕ

При ионном плакировании нейтральные частицы пара конденсируются под воздействием ионов какого-либо газа-носителя или пара. Ионы образуются в газоразрядных устройствах или при газовом разряде, происходящем между испарителем и подложкой. Энергия ударяющихся ионов (10-15—10-17 Вт-с, или Дж) гораздо больше энергии нейтральных частиц пара (4.10 -20 Вт-с. или Дж ).

Ударяющиеся ионы распыляют поверхностные слои субстрата и частично конденсата и энергетически возбуждают их.

Одновременное протекание процессов осаждения из паровой фазы, распыления и энергетического возбуждения приводит к получению плотных и равномерных структур напыленного покрытия, повышению прочности сцепления и уменьшению требуемой температуры предварительного подогрева подложки, а также к уменьшению пористости и повышению коррозионной стойкости .

Дальнейшим усовершенствованием является чередующееся ионное плакирование. При этом слой покрытия формируется при периодически чередующемся воздействии ионов и частиц пара. Преимущество такого процесса заключается в первую очередь в возможности использовать традиционные испарители и источники ионов.

Способы ионного плакирования в настоящее время доведены до стадии промышленного применения. Следует ожидать их применения при вакуумном осаждении покрытий на большие площади или при осаждении слоев большой толщины.

5.2. АГРЕГАТЫ ВАКУУМНОГО НАПЫЛЕНИЯ НА СТАЛЬНУЮ ПОЛОСУ

Основные технологические этапы осаждения покрытий в вакууме из паровой фазы и основные функциональные узлы поясняются на примере вакуумного напыления стальной полосы. На рис. 5.8 дается обзор рабочих этапов при производстве стальной полосы с вакуумным напылением алюминиевого покрытия. На рис. 5.9 представлен агрегат для непрерывного вакуумного нанесения покрытия на стальную полосу шириной до 400 мм модели ЕВА 400/1 (с электронно-лучевым подогревом), техническая характеристика которого приведена ниже:

Назначение: производство стальной полосы с алюминиевым покрытием, напыленным из паровой фазы.

Тип: движение полосы через шлюзы на входе и на выходе из камер.

Ширина полосы: 340—420 мм.

Толщина полосы: 0,2—0,6 мм.

Скорость полосы: 0,2—3,0 (5,0) м/с.

Мощность для предварительного подогрева полосы: электронный луч Р 2 X 250 кВт.

Мощность для испарения: электронный луч Р 2X250 кВт.

Нанесение покрытия с обеих сторон.

Материал покрытия: алюминий.

Форма подаваемого материала покрытия: проволока.

Охлаждение полосы: форсуночный охладитель на стороне выхода. Измерение температуры: пирометром общего излучения. Измерение толщины слоя: по принципу обратного рассеяния Р-лучей.

5.2.1. ОЧИСТКА ПОЛОСЫ

Применяемая для покрытий из паровой фазы холоднокатаная стальная полоса поступает в светлоотожженном рекристаллизованном состоянии. Для получения прочно сцепленного металлического покрытия при этом необходима тщательная электролитическая очистка поверхности. Очистка может выполняться в отдельном агрегате. При последующем предварительном подогреве полосы электронными лучами в вакууме достигается дополнительный эффект очистки.

5.2.2. ВАКУУМИРОВАНИЕ

Поскольку стальная полоса подвергается покрытию из паровой фазы в вакууме, такие агрегаты должны быть оборудованы соответствующими устройствами для получения вакуума и системами шлюзов. Полоса сначала проходит входную систему шлюзов, где давление воздуха ступенчато снижается от нормального (атмосферного) до рабочего. После нанесения покрытия полоса проходит через аналогичный шлюз на выходе. Вакуумные насосы должны иметь такие размеры, чтобы откачку после простоев агрегата можно было бы выполнить за кратчайшее время и во время работы можно было бы поддерживать требуемый вакуум.

Воздух и газы попадают в вакуумную камеру через систему шлюзов и места течи; в связанном виде на поверхности поступающей полосы (эти газы высвобождаются при подогреве полосы; показатель натекания может составлять до 665 Па-л/м2 ); в ре

зультате высвобождения при плавлении и перегреве испаряемого материала или из тигля с жидким металлом или в результате реакций между тиглем и металлом.

Кроме того, необходимо учитывать газовыделение с поверхностей вакуумной камеры и со смонтированного в ней оборудования.

Для получения требуемого высокого вакуума применяют комбинированные насосные системы: ротационно-пластинчатые (шиберные) насосы от 105 до 102 Па (предварительный вакуум); насосы с двумя обкатывающимися роторами типа Руте от 102 до 10-1 Па (средний вакуум); паромасляные диффузионные насосы от 10-1 до 10- 4 Па (высокий вакуум).

Поскольку для вакуумных насосов типа Руте и паромасляных диффузионных насосов нужно пониженное давление на стороне всасывания, насосы трех вышеназванных видов включают последовательно. Время откачки после производственных простоев (например, после замены тиглей-испарителей) по экономическим соображениям должно быть непродолжительным (5—60 мин). Быстрота действия (производительность по всасыванию), необходимая для откачки до предварительного вакуума, может быть приблизительно рассчитана по формуле S = (V/t) In (рАЕ),

где S — быстрота действия; V — откачиваемый объем; рА—давление в начале откачки; рЕ — давление в конце откачки до предварительного вакуума; t — продолжительность откачки от давления рA до давления рЕ.

Соответствующий расчет для диапазона давлений р < 10 Па в настоящее время пока невозможен).

Оглавление статьи Страницы статьи:  1  2  3  4  5  6 

Автор: Администрация   Общая оценка статьи:    Опубликовано: 2011.11.03   

_ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _

ЛИЧНЫЙ КАБИНЕТ:



запомнить  Регистрация

Металлоторговля:
Объявления
Прайсы (по торг. позициям)
Прайсы (в файлах)

Марки металлов
Калькулятор веса металла

Новости

НОВЫЕ ОБЪЯВЛЕНИЯ

15:17 Ф1736 дугостаторный пресс

15:16 АС5100 чеканочный пресс

13:26 Круг 100мм 65Г/70Г

12:45 Круг 6ХВ2С д.32

12:38 Шар мелющий

12:33 Куплю ФС45

17:52 Автогрейдер ДЗ-98

17:49 Экскаватор – погрузчик JOHN DEERE 325 J (Америка)

17:46 Демонтаж зданий и строительных сооружений

17:12 Автовышка Зил-131, Камаз

НОВОСТИ

21 Июня 2018 17:06
Самодельное приспособление на основе подшипника для гибки проволоки и прутка

21 Июня 2018 17:57
Запасы алюминия в Китае за третью неделю июня упали на 40 тыс. тонн

21 Июня 2018 16:12
”ЕВРАЗ ЗСМК” сократит на 3 млн. кубометров забор речной воды

21 Июня 2018 15:01
Тайваньский импорт железной руды в мае упал на 430 тыс.

21 Июня 2018 14:47
”Металлоинвест” модернизирует электросталеплавильный цех ”Уральской Стали”

21 Июня 2018 13:07
Южнокорейский импорт стального лома в мае упал на 0,1%

НОВЫЕ СТАТЬИ

Устройство деревянных перекрытий

Общие особенности устройства вентиляционной системы

Современные септики: наиболее важные типовые характеристики и особенности эксплуатации

Ремонт помещений и сантехнические работы

Упаковки из гофрокартона для товаров

Медные и латунные трубы для промышленности

Основные типы отводов в трубопроводной промышленности

Решетки из нержавеющей стали – сфера применения, виды и преимущества

Камеры для видеонаблюдения

Насосы DAB: отличительные черты и отрасли применения оборудования

Современные кондиционеры для жилых и общественных помещений

Как составить план переезда офиса

Выбираем профнастил для кровли

Характеристики противопожарного ящика для песка

Термоклеевое оборудование Baumer hhs

Лист нержавеющий AISI 409 - особенности марки и применение

Характеристики и общие особенности марки стали 40Х13

Свойства и особенности применения проката из нержавейки марки 20Х13

 ГЛАВНАЯ   МЕТАЛЛОТОРГОВЛЯ   ОБЪЯВЛЕНИЯ   ПРАЙСЫ   КОМПАНИИ   СТАТЬИ   РАБОТА   ФОРУМ   ГОСТы   МАРОЧНИК   КАЛЬКУЛЯТОР   БИРЖЕВЫЕ ЦЕНЫ   ВЫСТАВКИ  

Рейтинг@Mail.ru

О портале : Информация и правила : Реклама : Тарифы для компаний : Наши контакты : Связаться : Личный кабинет : Регистрация

2009-2018 © Любое копирование материалов без активной ссылки на metallicheckiy-portal.ru запрещено!
Использование материалов в печатных изданиях только с разрешения администрации портала.