Центральный металлический портал РФлучшие сервисы для Вашего бизнеса

 ГЛАВНАЯ   МЕТАЛЛОТОРГОВЛЯ   ОБЪЯВЛЕНИЯ   ПРАЙСЫ   КОМПАНИИ   СТАТЬИ   РАБОТА   ФОРУМ   ГОСТы   МАРОЧНИК   КАЛЬКУЛЯТОР   БИРЖЕВЫЕ ЦЕНЫ   ВЫСТАВКИ  

Полезные статьи -> Научные исследования -> Различные аспекты газофазной металлизации -> Часть 8

Различные аспекты газофазной металлизации (Часть 8)

только в текущем разделе

Страницы:    1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  ...  26  27  28  29  30   

низма распада и направленного воздействия на этот процесс.

Сложная и пестрая картина механизма термораспада МОС постепенно проясняется, однако исследователям, работающим в этой и пограничных областях, предстоит пройти еще немалый путь к полному пониманию, дающему возможность построения количественной теории термораспада.

3.3. Можно ли заранее «заказывать»

свойства металлических покрытий?

3.3.1. Как получить металлическое покрытие

с заданным содержанием углерода и требуемой микротвердостью

Из термодинамических расчетов следует, что от температуры нагрева подложки в значительной степени зависит образование примесей в карбонильных металлических покрытиях в виде свободного углерода, карбидов и оксидов металла. С увеличением температуры подложки вероятность их появления уменьшается. При этом чем глубже вакуум, тем меньше примесей в растущем карбонильном металлическом покрытии.

Экспериментальные данные по содержанию углерода в металлических пленках и покрытиях целиком подтверждают теоретические расчеты. Приводятся данные по содержанию углерода в различных металлических покрытиях, полученных при разных температурах, при постоянной подаче паров карбонила в вакууме (20—30 Па).

Из графика, приведенного на рис. 17, видно, что при ведении процесса при высоких температурах содержание углерода в металлических карбонильных покрытиях незначительно — всего 0,009—0,025%, а при низких температурах — 1 % .

Кроме того, при снижении температуры процесса увеличивается микротвердость металлических покрытий, что объясняется увеличением содержания углерода, находящегося исключительно в связанном состоянии. Свободный углерод в карбонильных металлических покрытиях практически отсутствует. Однако микротвердость покрытий достигает существенных величин и ха

рактер изменения микротвердости с изменением температуры аналогичен изменению содержания углерода в покрытии.

Рентгеновский фазовый анализ подтвердил предположение о том, что при низких температурах подложки (порядка 400—420° С) карбонильные вольфрамовые покрытия в основном состоят из карбида W2C, имеющего гранецентрированную кубическую решетку (ГЦК), и содержат в небольшом количестве чистый вольфрам.

При повышении температуры подложки содержание карбидной фазы в покрытии резко уменьшается и при низких скоростях подачи карбонила исчезает уже при 500° С.

Однако при высоких скоростях подачи карбонила «температурная граница», при которой отсутствует карбид W2C, сдвигается к 800° С. Это можно объяснить тем обстоятельством, что при высоких температурах подложки в объеме над ней протекают процессы, приводящие к образованию микрочастиц, содержащих W2C, которые попадают на подложку.

Лишь при температурах подложки свыше 800° С покрытия целиком свободны от карбидной фазы W2C.

Аналогичная картина наблюдается и для карбонильных покрытий других металлов: разумеется, в каждом конкретном случае «температурные границы» исчезновения примесей карбидов имеют разные величины.

3.3.2. Как получить покрытие

с заданной морфологией (микрорельефом) поверхности

Металлографические исследования микрорельефа поверхности карбонильных металлических покрытий показали, что морфология поверхности имеет три ярко выраженных типа. Каждый тип микрорельефа получается при строго определенном температурном режиме — низко-, средне- и высокотемпературном. Температурный интервал каждого режима зависит от природы металла (железо, хром, молибден, рений и т. д.).

Поверхность покрытий, «выращенных» в низкотемпературной области, целиком состоит из крупных сфероидов. При этом чем выше скорость подачи паров карбонила металла, тем при более низкой температуре образуются крупные сфероиды металла на поверхности покрытия.

В среднетемпературной области поверхность металлических покрытий усеяна мелкими сфероидами, размеры которых в 5 — 10 раз меньше, чем размеры сфероидов, полученных в низкотемпературной области. Как правило, мелкие сфероиды объединяются в четко огра-

ниченные образования, равные по размерам крупным сфероидам первого типа.

В высокотемпературной области поверхность металлических покрытий состоит из хаотически ориентированных мельчайших кристаллов, размер которых в 10 — 15 раз меньше, чем размер сфероидов второго типа.

К настоящему времени определены условия получения и свойства карбонильных железных, кобальтовых, никелевых, хромовых, молибденовых, вольфрамовых и рениевых покрытий всех трех типов. Получены фотографии морфологии поверхности и внутренней структуры этих покрытий.

На рис. 18 в качестве примера приводится морфология поверхности никелевых покрытий, полученных при разных температурах подложки.

Таким образом, подбирая технологический режим процесса, возможно получать карбонильные металлические покрытия с требуемым рельефом поверхности.

3.3.3. Можно ли регулировать

кристаллическую решетку покрытий?

Карбонильный метод позволяет получать металлические покрытия с заданной ориентацией кристаллов, что имеет важное значение для современной радиоэлектроники и полупроводниковой техники. Действительно, такие параметры, как магнитная проницаемость, коэрцитивная сила, электросопротивление, термоэлектронная эмиссия и др., сильно зависят от ориентации кристаллов. Например, плотность тока эмиссии в вакуумных термоэлектронных преобразователях резко увеличивается, если поверхность катода из вольфрама ограничивается плоскостями заранее заданного типа.

Ориентацию граней и соответствующих им атомных плоскостей в кристалле обычно характеризуют с помощью так называемых миллеровских индексов, которые представляют собой целые числа с малыми абсолютными величинами.

Ориентация атомных плоскостей в кристаллах карбонильных металлических покрытий предопределяется условиями процесса разложения карбонилов (температурой, давлением, степенью пересыщения, временем ведения процесса). При получении молибденовых покрытий в присутствии водорода при температурах 500— 700° С образуются плоскости (111). При 600—850° С

Страницы:    1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  ...  26  27  28  29  30   

_ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _

ЛИЧНЫЙ КАБИНЕТ:



запомнить  Регистрация

Металлоторговля:
Объявления
Прайсы (по торг. позициям)
Прайсы (в файлах)

Марки металлов
Калькулятор веса металла

Новости

Статьи

Металлография
Карбонилы металлов и металлорганические соединения
Выращивание металла в газовой фазе
Различные аспекты газофазной металлизации
Тугоплавкие соединения редкоземельных металлов
Измерение толщины металлических покрытий
• Размерная стабильность титановых сплавов
• Повышение сопротивления микропластическим деформациям медных сплавов

НОВЫЕ ОБЪЯВЛЕНИЯ

Ч 15:48 Труба 219х8 09Г2С ГОСТ 10704

Ц 15:47 Полоса бронзовая БрАЖН 10-4-4 ГОСТ 18175-78.

Ц 15:47 Полоса бронзовая 125x185x480 БрАЖМц10-3-2 ГОСТ 18175-78.

Ц 15:47 Полоса бронзовая БрАЖ9-4 ГОСТ 18175-78.

Ц 15:47 Полоса нихромовая Х20Н80 ГОСТ 12766.5-90.

Ц 15:47 Свинец С1, С2

Ц 15:47 лом титана кусок и стружка

Ц 15:47 Монель, константан, копель алюмель, хромель.

Ч 15:47 Фланцы нержавеющие разных типов. Всегда в складе.

Ч 15:47 Трубы нержавеющие разных диаметров AISI 304 и 316.

Ч 15:45 Краны нержавеющие раных типов присоединения.

Т 15:45 Трубы 325 х 6, 8, 9 мм стальные

НОВОСТИ

20 Января 2017 17:12
Трубогибы с индукционным нагревом

22 Января 2017 15:03
Правительство может направить 5,4 млрд. рублей на поддержку транспортного машиностроения

22 Января 2017 14:19
”ЮУМЗ” возобновляет выпуск коксохимических машин в рамках госпрограммы импортозамещения

22 Января 2017 13:22
”Златмаш” освоил новый вид продукции

22 Января 2017 12:54
”Северсталь Дистрибуция” открыла склад на севере Москвы

22 Января 2017 11:45
Якутия вернется к добыче олова в арктической зоне

НОВЫЕ СТАТЬИ

Дробильное оборудование для горно-шахтной отрасли

Востребованные быстровозводимые и каркасные металлоконструкции

Классификация современной строительной арматуры

Шнек для цемента от компании ТензоТехСервис

Современные микросхемы - основные виды

Мелкие крепежи для электромонтажных, сантехнических и строительных работ

Латунная труба и прокат в промышленности

Муфта и ниппель по ДТР

3 способа обустройства выносных балконов

Стабилизаторы напряжения и их особенности

Промышленное холодильное оборудование

Вентиляторные градирни и комплектующие для них

Электрические шкафы и комплектующие для них

Никелевая лента 79НМ

Разработка плана ликвидации аварий

Легкие каркасные металлоконструкции

Современные системы кондиционирования

Комплектующие и фурнитура для мебели

Обои для жилых и общественных помещений

Завод по производству металлоконструкций

 ГЛАВНАЯ   МЕТАЛЛОТОРГОВЛЯ   ОБЪЯВЛЕНИЯ   ПРАЙСЫ   КОМПАНИИ   СТАТЬИ   РАБОТА   ФОРУМ   ГОСТы   МАРОЧНИК   КАЛЬКУЛЯТОР   БИРЖЕВЫЕ ЦЕНЫ   ВЫСТАВКИ  

Компания "РДМ" предлагает металлопрокат.

Рейтинг@Mail.ru

О портале : Информация и правила : Реклама : Тарифы для компаний : Наши контакты : Связаться : Личный кабинет : Регистрация

2009-2014 © Любое копирование материалов без активной ссылки на metallicheckiy-portal.ru запрещено!
Использование материалов в печатных изданиях только с разрешения администрации портала.