Центральный металлический портал РФлучшие сервисы для Вашего бизнеса

 ГЛАВНАЯ   МЕТАЛЛОТОРГОВЛЯ   ОБЪЯВЛЕНИЯ   ПРАЙСЫ   КОМПАНИИ   СТАТЬИ   РАБОТА   ФОРУМ   ГОСТы   МАРОЧНИК   КАЛЬКУЛЯТОР   БИРЖЕВЫЕ ЦЕНЫ   ВЫСТАВКИ  

Полезные статьи -> Научные исследования -> Различные аспекты газофазной металлизации -> Различные аспекты газофазной металлизации

Различные аспекты газофазной металлизации

Оглавление статьи Страницы статьи:  1  2  3  4  5  ...  14  15  16  ...  28  29  30 

В монографии Г. А. Разуваева и др. (1972 г.) приводится по крайней мере пять основных преимуществ электронно-лучевого метода разложения металлоорганических соединений:

— высокая разрешающая способность (0,2—0,5 нм или 2—5 А) электронно-оптических систем позволяет изготавливать микросхемы меньших размеров и с большей точностью;

— тонкая регулировка фокусировки, отклонения и передвижения электронного луча по подложке позволяют вообще отказаться от масок и шаблонов и даже еще более уменьшить размеры микросхем;

— поочередный ввод в вакуумную камеру различных металлоорганических соединений позволяет получить ряд последовательных слоев, например типа металл — полупроводник — металл;

— возможность управления технологическим процессом по заданной программе движения электронного луча;

— исключение применения дополнительных посторонних механических операций соединений рабочих пленок значительно повышает надежность микросхем. Однако существенными недостатками метода пока еще

остаются высокая стоимость оборудования и возможность загрязнения образующихся пленок продуктами разложения паров масла, проникающих из диффузионного насоса в реактор.

3.1.5. Лазерная металлизация

Хотя использование излучения оптических квантовых генераторов (лазеров) для осаждения металлических пленок было предложено А. Мартином еще в 1968 г., этот метод все же до сих пор не смог стать конкурентоспособным по отношению ко всем описанным выше газофазным методам разложения.

Принцип действия аппарата разложения паров летучих соединений с помощью оптического квантового генератора основан на нагревании подложки с помощью луча генератора, сконцентрированного в требуемой точке. При этом концентрация световой энергии луча доводится до заданной с помощью специальной оптической системы. Соединения, попадающие на подложку, претерпевают фото- и термораспад, в результате которого образуется металлическое покрытие в точке подложки, на которую фокусируется луч. При наличии робота-программатора, лазерный луч может «рисовать» на подложке любые схемы из требуемого металла.

Исходные металлоорганические соединения должны быть высоколетучими, слабо поглощать свет в избранном оптическом диапазоне и не должны фотодиссоциировать в объеме реактора.

Лазерный метод, как показала практика, несмотря на кажущуюся простоту, имеет существенные недостатки: слабую разрешающую способность лазерного луча, ограниченную возможность варьирования температурных параметров, недолговечность и высокую стоимость источников излучения оптических квантовых генераторов.

Однако несомненным преимуществом лазерного метода, которое, к сожалению, не до конца реализовано, является легкость и простота нанесения локальных узоров, дорожек, создание многослойных и объемных микросхем. Это позволяет говорить о методе металлизации подложек под воздействием излучения оптического лазера как об одном из перспективных.

3.2. Моделирование процессов

«выращивания» металлов

Металлоорганические соединения играют все возрастающую роль в народном хозяйстве.

К сегодняшнему дню синтезированы сотни тысяч химических соединений, содержащих связи металл— углерод. Разработаны методы их получения и распада, изучены их реакции с другими веществами.

Однако существует огромная разница между реакциями, протекающими в лабораторной колбе (in vitro), и превращениями тех же самых веществ внутри промышленных реакторов. Недолгий период отчаяния и недоумения, вызванных этим «барьером различия», к счастью, был быстро преодолен.

Исследователи поняли, что при моделировании химических процессов, следует учитывать целый ряд чисто физических и физико-химических факторов. Поэтому перенесение лабораторных реакций в промышленный реактор выделилось в самостоятельную науку, составляющую сегодня основу химической технологии — моделирование химических процессов.

Кто не знает старый как мир и внешне добротный метод «проб и ошибок» (его остроумпо в свое время окрестили методом «тыка»)? Тот, кто шел этим путем кропотливо день за днем, год за годом, отыскивал благоприятные условия ведения технологического процесса, меняя десятки различных факторов и параметров, применяя те или иные случайные или неслучайные вещества и добавки. Время и терпение — вот формула метода «тыка».

Однако знания в области фундаментальных основ физики и химии позволяют осуществить грамотные прогнозы и резко сократить путь от колбы к промышленному реактору. Оказалось, что установление структуры молекул МОС, расчет состояния равновесия и вычисление скоростей реакций позволяют достаточно быстро с помощью технических расчетов осуществить моделирование химических процессов.

Если вчера необходимость опытных и полупромышленных установок не поддавалась сомнению, то сегодня значение фундаментальных исследований возросло настолько, что все чаще и чаще раздаются голоса о том, что такие установки становятся излишними. Уже сейчас многие процессы рассчитываются теоретически.

При разработке химических процессов и при создании оптимальной конструкции реакторов особо важную роль играет определение термодинамических и кинетических параметров, а также изучение процессов формирования металлических покрытий на поверхности подложек.

3.2.1. Термодинамика процессов термораспада

Напомним, что термодинамика изучает наиболее общие свойства макроскопических систем, находящихся в состоянии термодинамического равновесия, и процессы перехода между этими состояниями. Использованный при своем зарождении для анализа чисто энергетических проблем термодинамический подход оказался исключительно полезным и применительно к химическим реакциям, так как всякое химическое взаимодействие сопровождается поглощением или выделением энергии.

Термодинамические соотношения между физическими величинами имеют универсальный характер и применимы в том числе к рассмотрению процессов термораспада металлоорганических соединений.

Обобщения многочисленных наблюдений в течение длительного периода (примерно двухсот лет) позволили вывести фундаментальные принципы (так называемые первое, второе и третье начала термодинамики), которые выполняются и действуют независимо от конкретной природы тел, образующих систему.

Первое и второе начала термодинамики позволили составить энергетический баланс для химических реакций, определить энергии реагирующих компонентов и установить «движущую силу» основной и побочных химических реакций. Используя термодинамические данные, удалось установить также температурные зависимости, необходимые для расчета оптимальных технологических параметров процессов термораспада металлоорганических соединений.

Однако следует помнить, что термодинамика позволяет лишь определить состояние равновесия и ответить на вопрос, возможно или невозможно протекание того или иного процесса, но она не включает время как переменную величину и поэтому не дает ответа на другой важный вопрос: а сколько времени продлится та или иная химическая реакция?

Оглавление статьи Страницы статьи:  1  2  3  4  5  ...  14  15  16  ...  28  29  30 

Автор: Администрация   Общая оценка статьи:    Опубликовано: 2011.09.02   

_ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _

ЛИЧНЫЙ КАБИНЕТ:



запомнить  Регистрация

Металлоторговля:
Объявления
Прайсы (по торг. позициям)
Прайсы (в файлах)

Марки металлов
Калькулятор веса металла

Новости

НОВЫЕ ОБЪЯВЛЕНИЯ

12:50 Заклепки алюминиевые ударные оптом

12:47 Продаются круги шх15 оптом.

10:48 Купим подшипники разные

08:49 Труба ТФ 89х7 НД-2-2-20 2У1

07:39 Сварочные агрегаты АДД 2х2502, АДД 2х2502 П, АДД 2х2502 ПВГ

07:39 Сварочный генератор ГД 2х2503, генератор ГД 4004,

07:39 Дизельные электростанции АД 150

17:51 Металлорежущие станки плазменной и газовой резки

17:50 Проектирование и изготовление пресс-форм

17:11 Пресс-форма по образу или оригиналу изделия

НОВОСТИ

24 Марта 2017 17:16
Станки с ЧПУ для гибки проволоки в работе

22 Марта 2017 14:08
Необычные строения из алюминия в Японии (17 фото)

20 Марта 2017 23:31
Станки и оборудование специалисты смогут выбрать на выставке Mashex Siberia

24 Марта 2017 17:45
Алюминиевый Институт создаст новые материалы на основе алюминия и технологии их обработки

24 Марта 2017 16:07
Запасы готовой стали в Китае в начале марта выросли на 7,95%

24 Марта 2017 15:01
В трубопрессовом цехе ”КраМЗа” смонтирована установка для ”теплой” прокатки труб

24 Марта 2017 14:08
Мировой выпуск прямовосстановленного железа в феврале 2017 года вырос на 9,4%

24 Марта 2017 13:43
В 2017 году УК ”Кузбассразрезуголь” увеличит инвестиции в производство на 2 млрд. рублей

НОВЫЕ СТАТЬИ

Основные виды натурального камня

Труба из нержавеющей стали: классификация и область применения

Разновидности труб из коррозионностойкой стали и их применение в бытовых и промышленных условиях

Труба нержавеющая 20Х23Н18 для химпрома

Труба нержавеющая в обеспечении комфортной работы предприятий

Купить металлопрокат в Тамбове

Что лучше: купить квартиру с отделкой или без отделки?

Технологии остекления балконов и цены в Киеве

Гравировка на металле: улучшаем офис для успеха в бизнесе

Кварцевый агломерат и виды искусственного камня

Теплый электрический пол для квартиры

Основные виды запчастей для автомобильного двигателя

Электрические защитные автоматы для квартиры

Распространенные сертификаты в промышленности

Решетчатые и прессованные настилы в промышленности

Использование трубы нержавеющей 12Х18Н10Т в машиностроении и других остраслях

Труба нержавеющая 10Х17Н13М2Т в отраслях промышленности

Труба нержавеющая 06ХН28МДТ в котельной промышленности

 ГЛАВНАЯ   МЕТАЛЛОТОРГОВЛЯ   ОБЪЯВЛЕНИЯ   ПРАЙСЫ   КОМПАНИИ   СТАТЬИ   РАБОТА   ФОРУМ   ГОСТы   МАРОЧНИК   КАЛЬКУЛЯТОР   БИРЖЕВЫЕ ЦЕНЫ   ВЫСТАВКИ  

Компания "РДМ" предлагает металлопрокат.

Рейтинг@Mail.ru

О портале : Информация и правила : Реклама : Тарифы для компаний : Наши контакты : Связаться : Личный кабинет : Регистрация

2009-2017 © Любое копирование материалов без активной ссылки на metallicheckiy-portal.ru запрещено!
Использование материалов в печатных изданиях только с разрешения администрации портала.