Центральный металлический портал РФлучшие сервисы для Вашего бизнеса

 ГЛАВНАЯ   МЕТАЛЛОТОРГОВЛЯ   ОБЪЯВЛЕНИЯ   ПРАЙСЫ   КОМПАНИИ   СТАТЬИ   РАБОТА   ФОРУМ   ГОСТы   МАРОЧНИК   КАЛЬКУЛЯТОР   БИРЖЕВЫЕ ЦЕНЫ   ВЫСТАВКИ  

Открыт новый раздел: Прайс-листы в файлах! (Excel и др.), доступен упрощенный просмотр прайсов без скачивания!
Полезные статьи -> Научные исследования -> Различные аспекты газофазной металлизации -> Часть 4

Различные аспекты газофазной металлизации (Часть 4)

только в текущем разделе

Страницы:    1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  ...  26  27  28  29  30   

В монографии Г. А. Разуваева и др. (1972 г.) приводится по крайней мере пять основных преимуществ электронно-лучевого метода разложения металлоорганических соединений:

— высокая разрешающая способность (0,2—0,5 нм или 2—5 А) электронно-оптических систем позволяет изготавливать микросхемы меньших размеров и с большей точностью;

— тонкая регулировка фокусировки, отклонения и передвижения электронного луча по подложке позволяют вообще отказаться от масок и шаблонов и даже еще более уменьшить размеры микросхем;

— поочередный ввод в вакуумную камеру различных металлоорганических соединений позволяет получить ряд последовательных слоев, например типа металл — полупроводник — металл;

— возможность управления технологическим процессом по заданной программе движения электронного луча;

— исключение применения дополнительных посторонних механических операций соединений рабочих пленок значительно повышает надежность микросхем. Однако существенными недостатками метода пока еще

остаются высокая стоимость оборудования и возможность загрязнения образующихся пленок продуктами разложения паров масла, проникающих из диффузионного насоса в реактор.

3.1.5. Лазерная металлизация

Хотя использование излучения оптических квантовых генераторов (лазеров) для осаждения металлических пленок было предложено А. Мартином еще в 1968 г., этот метод все же до сих пор не смог стать конкурентоспособным по отношению ко всем описанным выше газофазным методам разложения.

Принцип действия аппарата разложения паров летучих соединений с помощью оптического квантового генератора основан на нагревании подложки с помощью луча генератора, сконцентрированного в требуемой точке. При этом концентрация световой энергии луча доводится до заданной с помощью специальной оптической системы. Соединения, попадающие на подложку, претерпевают фото- и термораспад, в результате которого образуется металлическое покрытие в точке подложки, на которую фокусируется луч. При наличии робота-программатора, лазерный луч может «рисовать» на подложке любые схемы из требуемого металла.

Исходные металлоорганические соединения должны быть высоколетучими, слабо поглощать свет в избранном оптическом диапазоне и не должны фотодиссоциировать в объеме реактора.

Лазерный метод, как показала практика, несмотря на кажущуюся простоту, имеет существенные недостатки: слабую разрешающую способность лазерного луча, ограниченную возможность варьирования температурных параметров, недолговечность и высокую стоимость источников излучения оптических квантовых генераторов.

Однако несомненным преимуществом лазерного метода, которое, к сожалению, не до конца реализовано, является легкость и простота нанесения локальных узоров, дорожек, создание многослойных и объемных микросхем. Это позволяет говорить о методе металлизации подложек под воздействием излучения оптического лазера как об одном из перспективных.

3.2. Моделирование процессов

«выращивания» металлов

Металлоорганические соединения играют все возрастающую роль в народном хозяйстве.

К сегодняшнему дню синтезированы сотни тысяч химических соединений, содержащих связи металл— углерод. Разработаны методы их получения и распада, изучены их реакции с другими веществами.

Однако существует огромная разница между реакциями, протекающими в лабораторной колбе (in vitro), и превращениями тех же самых веществ внутри промышленных реакторов. Недолгий период отчаяния и недоумения, вызванных этим «барьером различия», к счастью, был быстро преодолен.

Исследователи поняли, что при моделировании химических процессов, следует учитывать целый ряд чисто физических и физико-химических факторов. Поэтому перенесение лабораторных реакций в промышленный реактор выделилось в самостоятельную науку, составляющую сегодня основу химической технологии — моделирование химических процессов.

Кто не знает старый как мир и внешне добротный метод «проб и ошибок» (его остроумпо в свое время окрестили методом «тыка»)? Тот, кто шел этим путем кропотливо день за днем, год за годом, отыскивал благоприятные условия ведения технологического процесса, меняя десятки различных факторов и параметров, применяя те или иные случайные или неслучайные вещества и добавки. Время и терпение — вот формула метода «тыка».

Однако знания в области фундаментальных основ физики и химии позволяют осуществить грамотные прогнозы и резко сократить путь от колбы к промышленному реактору. Оказалось, что установление структуры молекул МОС, расчет состояния равновесия и вычисление скоростей реакций позволяют достаточно быстро с помощью технических расчетов осуществить моделирование химических процессов.

Если вчера необходимость опытных и полупромышленных установок не поддавалась сомнению, то сегодня значение фундаментальных исследований возросло настолько, что все чаще и чаще раздаются голоса о том, что такие установки становятся излишними. Уже сейчас многие процессы рассчитываются теоретически.

При разработке химических процессов и при создании оптимальной конструкции реакторов особо важную роль играет определение термодинамических и кинетических параметров, а также изучение процессов формирования металлических покрытий на поверхности подложек.

3.2.1. Термодинамика процессов термораспада

Напомним, что термодинамика изучает наиболее общие свойства макроскопических систем, находящихся в состоянии термодинамического равновесия, и процессы перехода между этими состояниями. Использованный при своем зарождении для анализа чисто энергетических проблем термодинамический подход оказался исключительно полезным и применительно к химическим реакциям, так как всякое химическое взаимодействие сопровождается поглощением или выделением энергии.

Термодинамические соотношения между физическими величинами имеют универсальный характер и применимы в том числе к рассмотрению процессов термораспада металлоорганических соединений.

Обобщения многочисленных наблюдений в течение длительного периода (примерно двухсот лет) позволили вывести фундаментальные принципы (так называемые первое, второе и третье начала термодинамики), которые выполняются и действуют независимо от конкретной природы тел, образующих систему.

Первое и второе начала термодинамики позволили составить энергетический баланс для химических реакций, определить энергии реагирующих компонентов и установить «движущую силу» основной и побочных химических реакций. Используя термодинамические данные, удалось установить также температурные зависимости, необходимые для расчета оптимальных технологических параметров процессов термораспада металлоорганических соединений.

Однако следует помнить, что термодинамика позволяет лишь определить состояние равновесия и ответить на вопрос, возможно или невозможно протекание того или иного процесса, но она не включает время как переменную величину и поэтому не дает ответа на другой важный вопрос: а сколько времени продлится та или иная химическая реакция?

Страницы:    1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  ...  26  27  28  29  30   

_ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _

ЛИЧНЫЙ КАБИНЕТ:



запомнить  Регистрация

Металлоторговля:
Объявления
Прайсы (по торг. позициям)
Прайсы (в файлах)

Марки металлов
Калькулятор веса металла

Новости

Статьи

Металлография
Карбонилы металлов и металлорганические соединения
Выращивание металла в газовой фазе
Различные аспекты газофазной металлизации
Тугоплавкие соединения редкоземельных металлов
Измерение толщины металлических покрытий
• Размерная стабильность титановых сплавов
• Повышение сопротивления микропластическим деформациям медных сплавов

НОВЫЕ ОБЪЯВЛЕНИЯ

У 22:16 Металлолом Самовывоз. Дорого. Оперативно. Демонтаж

У 22:16 Металлолом. Прием и Вывоз Металлолома. Демонтаж.

Т 14:24 Генераторы дизельные, электростанции АД500, АД500-

Т 14:24 Дизельные электростанции АД 315

Т 14:24 Сварочный генератор ГД 2х2503, генератор ГД 4004,

У 12:08 Погружение винтовых свай

У 12:08 Металлоконструкции

Т 12:08 Винтовые сваи серии СВЛ (ВСЛ) и СВЛМ (ВСЛМ)

У 12:08 Аренда УБМ-85

Т 12:08 Винтовые сваи

У 11:39 Ходовые винты.

У 11:39 Ремонт промышленных редукторов.

НОВОСТИ

6 Декабря 2016 17:05
Пушка для стрельбы тыквами и шарами для боулинга

1 Декабря 2016 07:01
Столетние ткацкие станки (10 фото)

8 Декабря 2016 10:05
”Коршуновский ГОК” увеличил добычу руды

8 Декабря 2016 09:31
”Северсталь-метиз” запустил новое оборудование

8 Декабря 2016 08:36
Горняки шахты ”Усковская” выполнили годовой план по проходке и добыли 2 млн. тонн угля

8 Декабря 2016 07:24
”БМК” увеличил отгрузку метизов в ноябре 2016 года

7 Декабря 2016 17:43
Американский импорт катанки в октябре вырос на 13,7%

НОВЫЕ СТАТЬИ

Основные виды и области применения термопар

Использование мешков для упаковки в отраслях промышленности

Пневмоцилиндры и пневматическое оборудование

Промышленные светодиодные светильники - преимущества перед газоразрядными лампами

Бытовка для строителя

Как правильно поменять замок во входной двери?

Какой стабилизатор напряжения для дома лучше: отзывы и разновидности приборов

Использование нержавеющего проката в пищевой промышленности

Тротуарная плитка от ”АВТОСТРОЙ” - типы и назначение

ГНБ технология бурения

Лазерная резка металла

Рентгенофлуоресцентные спектрометры - толщиномеры

Малярные валики и кисти

Складские пластиковые ящики для хранения изделий

Современные промышленные фены

Основные виды масел в промышленности

Погрузчики в складской отрасли и промышленности

Листовые материалы из древесины в строительстве

Качественные и доступные гидрозамки

Доступные качественные гидроцилиндры

 ГЛАВНАЯ   МЕТАЛЛОТОРГОВЛЯ   ОБЪЯВЛЕНИЯ   ПРАЙСЫ   КОМПАНИИ   СТАТЬИ   РАБОТА   ФОРУМ   ГОСТы   МАРОЧНИК   КАЛЬКУЛЯТОР   БИРЖЕВЫЕ ЦЕНЫ   ВЫСТАВКИ  

Открыт новый раздел: Прайс-листы в файлах! (Excel и др.), доступен упрощенный просмотр прайсов без скачивания!

Компания "РДМ" предлагает металлопрокат.

Рейтинг@Mail.ru

О портале : Информация и правила : Реклама : Тарифы для компаний : Наши контакты : Связаться : Личный кабинет : Регистрация

2009-2014 © Любое копирование материалов без активной ссылки на metallicheckiy-portal.ru запрещено!
Использование материалов в печатных изданиях только с разрешения администрации портала.