Центральный металлический портал РФлучшие сервисы для Вашего бизнеса

 ГЛАВНАЯ   МЕТАЛЛОТОРГОВЛЯ   ОБЪЯВЛЕНИЯ   ПРАЙСЫ   КОМПАНИИ   СТАТЬИ   РАБОТА   ФОРУМ   ГОСТы   МАРОЧНИК   КАЛЬКУЛЯТОР   БИРЖЕВЫЕ ЦЕНЫ   ВЫСТАВКИ  

Полезные статьи -> Научные исследования -> Различные аспекты газофазной металлизации -> Различные аспекты газофазной металлизации

Различные аспекты газофазной металлизации

Оглавление статьи Страницы статьи:  1  2  3  4  ...  14  15  16  ...  28  29  30 

грев), а также подогревать ее с помощью плитки с электроспиралью или с помощью высокотемпературных теплоносителей.

3.1.3. Диссоциация в плазме газового разряда

Термоплазмохимическое разложение паров легколетучих металлоорганических соединений в вакууме на поверхности подложки интересно прежде всего тем, что оно позволяет, во-первых, осуществить качественную очистку подложек перед металлизацией с помощью ВЧ-или СВЧ-разрядов и, во-вторых, значительно снизить температуру разложения исходного соединения, приблизив ее к 25-100° С,

Этот метод предусматривает наличие источника плазмы, создающего емкостной ВЧ-, индукционный ВЧ- или СВЧ-разряд. Для плазмы газового разряда вначале в реактор обязательно подается газ — водород, аргон, кислород, смеси газов. Газовый разряд создается путем подвода к электродам постоянного напряжения. Затем в реакционную зону вводятся пары исходного вещества. Процесс термоплазмохимической металлизации происходит в результате разложения летучего металлоорганического соединения при работе ВЧ-генератора на частоте 1—12 МГц. Мощность генератора ко-

леблется от 0,25 до 2,5 кВт в зависимости от конструкции реактора, размера подложки и ее формы.

Подвод энергии может осуществляться с помощью катушки индуктивности, внутрь которой помещается реактор, или с помощью обкладок конденсатора, одна из которых находится над реактором, а вторая — внутри реактора (она одновременно является столиком для подложки).

Форма и размеры реактора, его внутренняя конструкция и геометрия электродов сильно влияют на равномерность роста пленок и покрытий по толщине. Наилучшими условиями для равномерной металлизации является подача паров и газа в межэлектродное пространство. В этом случае молекулы исходного вещества возбуждаются, ионизируются и диссоциируют на подложке с выделением металла.

Тип разряда, его мощность, плотность тока тлеющего разряда п потенциал подложки также влияют на производительность процесса и качество покрытий. Кроме того, в реакторе требуется поддерживать строго заданное значение первоначального остаточного давления газов, рабочего вакуума, состав и соотношение газового потока.

В этом случае, как и в обычных методах термораспада, к числу технологических факторов относятся скорость подачи паров исходных летучих металлоорганических соединений и газов, температура подложки и стенок реактора, газодинамические факторы (степень турбулентности, место ввода газовой смеси), а также наличие механических устройств, подводящих газ к подложке.

Изображена технологическая схема установки для металлизации подложек термоплазмохимическим методом.

В качестве примера кратко рассмотрим получение железных магнитных покрытий разложением пентакарбонила железа в плазме газового разряда. Железные покрытия осаждаются на стеклоткани с различным переплетением волокон в вакуумной камере, в объеме которой инициируется высокочастотный газовый разряд в водороде.

Пары Fe(CO)5 разбавляются водородом в соотношении 1:10, подложка из стеклоткани нагревается до 90—100° С. Процесс осуществляется при остаточном давлении в реакторе от 40 до 90 Па. Плотность тока

в анодной цепи ВЧ-генератора в пересчете па площадь электрода, находящегося внутри реактора, обычно имеет величину 130—180 мА/дм2. Железные покрытия имеют блестящий серебристый цвет, обладают высокой пластичностью, не растрескиваются и не отслаиваются при изгибе ткани.

Интересно, что железные покрытия в течение полутора лет не изменяются при хранении на воздухе, что говорит об их высокой коррозионной стойкости. Коэрцитивная сила покрытий колеблется от 50 до 380 Э. Отдельные образцы обладают практически квадратной петлей гистерезиса, что позволяет судить о них как о перспективных магнитных носителях.

Термоплазмохимический метод может быть использован также для получения никелевых и молибденовых покрытий при очень низких температурах разложения карбонилов (особенно для молибдена) — порядка 100° С. В этом случае металлизация осуществляется в газопроточном вакуумном реакторе с использованием ВЧ-генератора с рабочей частотой 1 МГц (А. А. Уэльский и др., 1982 г.). Наилучшие результаты получаются при использовании аргон-водородной газовой смеси (9:1) при соотношении газовая смесь: парообразный карбонил, равном 10: 1, и остаточном давлении в системе —100—150 Па.

В качестве электрода можно использовать сетку с ячейками размером 0,3—0,5 см, а в качестве подложек — стеклотекстолит и стеклоткани. Рекомендуемая мощность разряда 45—50 Вт. При этом получаются никелевые и молибденовые пленки и покрытия, пригодные для изготовления печатных плат и экранов.

3.1.4. Электронно-лучевая металлизация

Диссоциация паров металлоорганических соединений возможна под действием электронов малой энергии. Этот метод металлизации из газовой фазы был предложен в 1960 г. К. Шоулдерсом и подробно описан в 1970 г. в монографии Б. А. Вишнякова и К. А. Осипова.

Принцип электронно-лучевой металлизации состоит в бомбардировке электронами слоя адсорбированных на поверхности подложки молекул металлоорганических соединений, например карбонилов металлов. Под воздействием электронов карбонилы металлов разлагаются: металл в виде покрытия осаждается на подложке, а газообразные продукты разложения выносятся из зоны реакции. Поверхность подложки играет важную роль в формировании растущего металлического покрытия в условиях бомбардировки электронами. Скорость диссоциации молекул исходного вещества на поверхности подложки всегда выше, чем скорость распада молекул в объеме. Это объясняется тем, что теплота диссоциации молекул, адсорбированных на подложке, ниже, чем молекул, находящихся в объеме. При этом важную роль играет передача энергии молекулам карбонила металла (или другого исходного соединения) от поверхности подложки. Эту энергию твердая подложка постоянно получает при облучении ее электронами во время процесса бомбардировки.

Изображена принципиальная схема установки электронно-лучевой металлизации, используемой для диссоциации паров карбонилов металлов. Поток электронов создается электронной пушкой с ускоряющим напряжением от 15 до 50 кВ и плотностью тока луча 1 мА/см2; средняя мощность луча 15—50 Вт. Металлизация осуществляется в вакууме (0,1—1 мПа). В качестве материала катода обычно используется вольфрам, а в качестве подложек с одинаковым успехом применяются металлы, стекло, ситалл, керамика и т. д.

Оглавление статьи Страницы статьи:  1  2  3  4  ...  14  15  16  ...  28  29  30 

Автор: Администрация   Общая оценка статьи:    Опубликовано: 2011.09.02   

_ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _

ЛИЧНЫЙ КАБИНЕТ:



запомнить  Регистрация

Металлоторговля:
Объявления
Прайсы (по торг. позициям)
Прайсы (в файлах)

Марки металлов
Калькулятор веса металла

Новости

НОВЫЕ ОБЪЯВЛЕНИЯ

11:14 Трубы б/у 114, 168, 273, 325, 426, 530, 1020 (БОЛЬШИЕ СКИДКИ

18:23 Универсально-фрезерный станок 6р82ш

16:43 Пластиковые инъекционные пакеры

16:40 Пресс-формы от производителя

10:57 Изготовление стальных заготовок на заказ

10:56 Изготовление чугунных заготовок на заказ

10:49 Изготовление бронзовых втулок на заказ

10:27 Труба медная 40х10 мм

14:08 Титановый круг 180х310 мм

10:18 Балка 40К5 ст09Г2С, ст3

НОВОСТИ

16 Октября 2018 17:15
Самодельный электрический орехокол

11 Октября 2018 10:44
Стальные решетчатые башни, имеющие мировую известность (45 фото)

17 Октября 2018 14:09
”Учалинский ГОК” начал модернизацию ствола шахты ”Скиповая”

17 Октября 2018 13:49
Бразильский экспорт железной руды в Китай в сентябре вырос на 19%

17 Октября 2018 12:46
”Уралмашзавод” обновит сварочное производство

17 Октября 2018 11:04
”Severstal Distribution” увеличила объем поставок польскому предприятию ”SERWISTAL” на 70%

17 Октября 2018 10:55
”ВСМПО-Ависма” прошла ”экспортную” сертификацию

НОВЫЕ СТАТЬИ

Дома из различных видов бруса - основные аспекты

Широкоформатная печать - основные виды подложек

Режущий инструмент для точения Kyocera

Преимущества и особенности расчета методом конечных элементов в производстве

Телетрейд Групп: сравнение торговых инструментов

Обзор популярных моделей гаражных ворот и критерии их выбора

Производство на заказ нестандартных дверей

Входные двери: основные критерии выбора качественной модели

Угловые и другие типы современных кухонь для комфортной жизни

Ходовые запчасти для двигателей автомобилей

Особенности складских услуг по хранению различных грузов

Грунты и почвы для садов и дач

Горно-шахтное оборудование

Какие стандарты предъявляются к современным системам теплоснабжения

Изготовление металлоконструкций и архитектурных металлоформ

Сталь конструкционная углеродистая

Сталь конструкционная низколегированная

Лист нержавеющий AISI 409 - особенности марки и применение

ПАРТНЕРЫ

Рекомендуем приобрести металлопрокат в СПб от компании РДМ.

 ГЛАВНАЯ   МЕТАЛЛОТОРГОВЛЯ   ОБЪЯВЛЕНИЯ   ПРАЙСЫ   КОМПАНИИ   СТАТЬИ   РАБОТА   ФОРУМ   ГОСТы   МАРОЧНИК   КАЛЬКУЛЯТОР   БИРЖЕВЫЕ ЦЕНЫ   ВЫСТАВКИ  

Рейтинг@Mail.ru

О портале : Информация и правила : Реклама : Тарифы для компаний : Наши контакты : Связаться : Личный кабинет : Регистрация

2009-2018 © Любое копирование материалов без активной ссылки на metallicheckiy-portal.ru запрещено!
Использование материалов в печатных изданиях только с разрешения администрации портала.