Центральный металлический портал РФлучшие сервисы для Вашего бизнеса

 ГЛАВНАЯ   МЕТАЛЛОТОРГОВЛЯ   ОБЪЯВЛЕНИЯ   ПРАЙСЫ   КОМПАНИИ   СТАТЬИ   РАБОТА   ФОРУМ   ГОСТы   МАРОЧНИК   КАЛЬКУЛЯТОР   БИРЖЕВЫЕ ЦЕНЫ   ВЫСТАВКИ  

Открыт новый раздел: Прайс-листы в файлах! (Excel и др.), доступен упрощенный просмотр прайсов без скачивания!
Полезные статьи -> Научные исследования -> Различные аспекты газофазной металлизации -> Часть 3

Различные аспекты газофазной металлизации (Часть 3)

только в текущем разделе

Страницы:    1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  ...  26  27  28  29  30   

грев), а также подогревать ее с помощью плитки с электроспиралью или с помощью высокотемпературных теплоносителей.

3.1.3. Диссоциация в плазме газового разряда

Термоплазмохимическое разложение паров легколетучих металлоорганических соединений в вакууме на поверхности подложки интересно прежде всего тем, что оно позволяет, во-первых, осуществить качественную очистку подложек перед металлизацией с помощью ВЧ-или СВЧ-разрядов и, во-вторых, значительно снизить температуру разложения исходного соединения, приблизив ее к 25-100° С,

Этот метод предусматривает наличие источника плазмы, создающего емкостной ВЧ-, индукционный ВЧ- или СВЧ-разряд. Для плазмы газового разряда вначале в реактор обязательно подается газ — водород, аргон, кислород, смеси газов. Газовый разряд создается путем подвода к электродам постоянного напряжения. Затем в реакционную зону вводятся пары исходного вещества. Процесс термоплазмохимической металлизации происходит в результате разложения летучего металлоорганического соединения при работе ВЧ-генератора на частоте 1—12 МГц. Мощность генератора ко-

леблется от 0,25 до 2,5 кВт в зависимости от конструкции реактора, размера подложки и ее формы.

Подвод энергии может осуществляться с помощью катушки индуктивности, внутрь которой помещается реактор, или с помощью обкладок конденсатора, одна из которых находится над реактором, а вторая — внутри реактора (она одновременно является столиком для подложки).

Форма и размеры реактора, его внутренняя конструкция и геометрия электродов сильно влияют на равномерность роста пленок и покрытий по толщине. Наилучшими условиями для равномерной металлизации является подача паров и газа в межэлектродное пространство. В этом случае молекулы исходного вещества возбуждаются, ионизируются и диссоциируют на подложке с выделением металла.

Тип разряда, его мощность, плотность тока тлеющего разряда п потенциал подложки также влияют на производительность процесса и качество покрытий. Кроме того, в реакторе требуется поддерживать строго заданное значение первоначального остаточного давления газов, рабочего вакуума, состав и соотношение газового потока.

В этом случае, как и в обычных методах термораспада, к числу технологических факторов относятся скорость подачи паров исходных летучих металлоорганических соединений и газов, температура подложки и стенок реактора, газодинамические факторы (степень турбулентности, место ввода газовой смеси), а также наличие механических устройств, подводящих газ к подложке.

Изображена технологическая схема установки для металлизации подложек термоплазмохимическим методом.

В качестве примера кратко рассмотрим получение железных магнитных покрытий разложением пентакарбонила железа в плазме газового разряда. Железные покрытия осаждаются на стеклоткани с различным переплетением волокон в вакуумной камере, в объеме которой инициируется высокочастотный газовый разряд в водороде.

Пары Fe(CO)5 разбавляются водородом в соотношении 1:10, подложка из стеклоткани нагревается до 90—100° С. Процесс осуществляется при остаточном давлении в реакторе от 40 до 90 Па. Плотность тока

в анодной цепи ВЧ-генератора в пересчете па площадь электрода, находящегося внутри реактора, обычно имеет величину 130—180 мА/дм2. Железные покрытия имеют блестящий серебристый цвет, обладают высокой пластичностью, не растрескиваются и не отслаиваются при изгибе ткани.

Интересно, что железные покрытия в течение полутора лет не изменяются при хранении на воздухе, что говорит об их высокой коррозионной стойкости. Коэрцитивная сила покрытий колеблется от 50 до 380 Э. Отдельные образцы обладают практически квадратной петлей гистерезиса, что позволяет судить о них как о перспективных магнитных носителях.

Термоплазмохимический метод может быть использован также для получения никелевых и молибденовых покрытий при очень низких температурах разложения карбонилов (особенно для молибдена) — порядка 100° С. В этом случае металлизация осуществляется в газопроточном вакуумном реакторе с использованием ВЧ-генератора с рабочей частотой 1 МГц (А. А. Уэльский и др., 1982 г.). Наилучшие результаты получаются при использовании аргон-водородной газовой смеси (9:1) при соотношении газовая смесь: парообразный карбонил, равном 10: 1, и остаточном давлении в системе —100—150 Па.

В качестве электрода можно использовать сетку с ячейками размером 0,3—0,5 см, а в качестве подложек — стеклотекстолит и стеклоткани. Рекомендуемая мощность разряда 45—50 Вт. При этом получаются никелевые и молибденовые пленки и покрытия, пригодные для изготовления печатных плат и экранов.

3.1.4. Электронно-лучевая металлизация

Диссоциация паров металлоорганических соединений возможна под действием электронов малой энергии. Этот метод металлизации из газовой фазы был предложен в 1960 г. К. Шоулдерсом и подробно описан в 1970 г. в монографии Б. А. Вишнякова и К. А. Осипова.

Принцип электронно-лучевой металлизации состоит в бомбардировке электронами слоя адсорбированных на поверхности подложки молекул металлоорганических соединений, например карбонилов металлов. Под воздействием электронов карбонилы металлов разлагаются: металл в виде покрытия осаждается на подложке, а газообразные продукты разложения выносятся из зоны реакции. Поверхность подложки играет важную роль в формировании растущего металлического покрытия в условиях бомбардировки электронами. Скорость диссоциации молекул исходного вещества на поверхности подложки всегда выше, чем скорость распада молекул в объеме. Это объясняется тем, что теплота диссоциации молекул, адсорбированных на подложке, ниже, чем молекул, находящихся в объеме. При этом важную роль играет передача энергии молекулам карбонила металла (или другого исходного соединения) от поверхности подложки. Эту энергию твердая подложка постоянно получает при облучении ее электронами во время процесса бомбардировки.

Изображена принципиальная схема установки электронно-лучевой металлизации, используемой для диссоциации паров карбонилов металлов. Поток электронов создается электронной пушкой с ускоряющим напряжением от 15 до 50 кВ и плотностью тока луча 1 мА/см2; средняя мощность луча 15—50 Вт. Металлизация осуществляется в вакууме (0,1—1 мПа). В качестве материала катода обычно используется вольфрам, а в качестве подложек с одинаковым успехом применяются металлы, стекло, ситалл, керамика и т. д.

Страницы:    1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  ...  26  27  28  29  30   

_ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _

ЛИЧНЫЙ КАБИНЕТ:



запомнить  Регистрация

Металлоторговля:
Объявления
Прайсы (по торг. позициям)
Прайсы (в файлах)

Марки металлов
Калькулятор веса металла

Новости

Статьи

Металлография
Карбонилы металлов и металлорганические соединения
Выращивание металла в газовой фазе
Различные аспекты газофазной металлизации
Тугоплавкие соединения редкоземельных металлов
Измерение толщины металлических покрытий
• Размерная стабильность титановых сплавов
• Повышение сопротивления микропластическим деформациям медных сплавов

НОВЫЕ ОБЪЯВЛЕНИЯ

Ч 14:44 Круг сталь 40Х (10,0 мм)

Ч 14:44 Круг Ст 45 (10,0 мм)

Ч 14:44 Круг Ст 35 (10,0 мм)

Ч 14:44 Круг Ст 20 (10,0 мм)

Ч 14:44 Круг Ст 10 (10.0 мм)

Ч 14:44 Круг А12 (10,0 мм)

Ч 14:44 Круг Ст 45 (9,0 мм)

Ч 14:44 Круг Ст 20 (9,0 мм)

Ч 14:44 Круг Ст 10 (9,0 мм)

Ч 14:44 Круг сталь А12 (9,0 мм)

Ч 14:43 Круг сталь 40Х (8,0 мм)

Ч 14:43 Круг Ст 45 (8,0 мм)

НОВОСТИ

24 Сентября 2016 17:05
Автомобильно-экскаваторный футбол

26 Сентября 2016 14:17
”Росгеология” завершила полевые работы на марганцевые руды в Ненецком автономном округе

26 Сентября 2016 13:32
”ОЗРК” до конца 2016 года добудет на Ольче 150 тонн руды

26 Сентября 2016 13:05
Первая партия ”аммиачной” арматуры отправлена заказчику

26 Сентября 2016 12:57
Алюминиевая Ассоциация оказала ”ЛМЗ СКАД” поддержку в привлечении финансирования

26 Сентября 2016 11:53
Выпуск стали в Азии в августе 2016 года вырос на 3,4%

НОВЫЕ СТАТЬИ

Проволока сварочная Св-06Х19Н9Т для сварки легированных сталей

Сетка нержавеющая сварная - виды и особенности

Проволока нержавеющая сварочная и её применение в промышленности

Прием металлолома в Москве

Болты - технология, свойства, применение

Разновидности систем кондиционирования, технические и эксплуатационные характеристики

Какая бывает керамическая плитка для полов

Как изготавливают трубопроводные отводы

Преобразователи напряжения от производителя

Лом меди: особенности оценки

Основные виды профнастила

Основные характеристики и сфера применения штабелеров

Тепло- и холодоаккумуляторы в промышленном оборудовании

Способы и технологии выравнивания пола

Виды аутсорсинговых услуг в современном бизнесе

Строительное оборудование из Европы

Нержавеющая стать – идеальное решение в условиях агрессивной среды

Виды пломб применяемых для опечатывания грузов

Использование настилов на промышленных и строительных объектах

Настилы и ступени из нержавеющего ПВЛ листа

 ГЛАВНАЯ   МЕТАЛЛОТОРГОВЛЯ   ОБЪЯВЛЕНИЯ   ПРАЙСЫ   КОМПАНИИ   СТАТЬИ   РАБОТА   ФОРУМ   ГОСТы   МАРОЧНИК   КАЛЬКУЛЯТОР   БИРЖЕВЫЕ ЦЕНЫ   ВЫСТАВКИ  

Открыт новый раздел: Прайс-листы в файлах! (Excel и др.), доступен упрощенный просмотр прайсов без скачивания!

Компания "РДМ" предлагает металлопрокат.

Рейтинг@Mail.ru

О портале : Информация и правила : Реклама : Тарифы для компаний : Наши контакты : Связаться : Личный кабинет : Регистрация

2009-2014 © Любое копирование материалов без активной ссылки на metallicheckiy-portal.ru запрещено!
Использование материалов в печатных изданиях только с разрешения администрации портала.