Центральный металлический портал РФлучшие сервисы для Вашего бизнеса

 ГЛАВНАЯ   МЕТАЛЛОТОРГОВЛЯ   ОБЪЯВЛЕНИЯ   ПРАЙСЫ   КОМПАНИИ   СТАТЬИ   РАБОТА   ФОРУМ   ГОСТы   МАРОЧНИК   КАЛЬКУЛЯТОР   БИРЖЕВЫЕ ЦЕНЫ   ВЫСТАВКИ  

Полезные статьи -> Научные исследования -> Различные аспекты газофазной металлизации -> Различные аспекты газофазной металлизации

Различные аспекты газофазной металлизации

Оглавление статьи Страницы статьи:  1  2  3  ...  14  15  16  ...  28  29  30 

Торных и опытно-промышленных установок для разложения металлоорганических соединений. Основываясь на приведенных в них материалах, можно четко уяснить, какие основные узлы должна иметь любая установка, предназначенная для газофазного разложения металлоорганических соединений.

Перечислим их:

— смеситель исходных веществ, снабженный устройством для ввода растворителей и добавок;

— испаритель исходного металлоорганического соединения или смеси веществ;

— реактор, оборудованный устройством для нагрева и вращения подложки;

— вакуумная или газовая система, предназначенная для создания неглубокого разряжения или потока несущего газа;

— узлы дозировки и подачи реагирующих веществ, как правило, оборудованные системой термостатированных рубашек;

— системы КИП и автоматики для осуществления контроля технологических параметров процесса (вакуум, температура подложки и испарителя, скорости потока и т. п.) и возможности командного воздействия на приборы узла дозировки и подачи веществ;

— вытяжной шкаф (или бокс), оборудованный приточно-вытяжной вентиляцией и системой сжигания (нейтрализации) в случае необходимости вредных газообразных сбросов.

Газофазную металлизацию нельзя сводить исключительно к термической диссоциации легколетучих соединений на поверхности нагретой подложки. В общем случае газофазное разложение металлоорганических соединений можно условно представить как ряд последовательных и параллельных элементарных процессов, на которых мы еще остановимся ниже (см. раздел 3.3.2).

В последние годы для газофазной металлизации подложек путем разложения паров легколетучих металлоорганических веществ применялись следующие методы: термическая диссоциация в неглубоком вакууме, термическая диссоциация в несущем газе (инертном или реагирующим с исходным веществом), диссоциация в плазме газового разряда, электроннолучевая металлизация, а также металлизация под воздействием на пары металлоорганических веществ излучения оптического квантового генератора.

В подавляющем большинстве работ газофазное разложение паров металлоорганических веществ на подложке осуществлялось с использованием первых двух методов. Однако каждый из перечисленных методов имеет свои особенности, играющие иногда важную роль при получении металлических покрытий с заданными свойствами. Ниже мы остановимся на рассмотрении каждого метода в отдельности.

3.1.1. Термическая диссоциация

в неглубоком вакууме

Термическая диссоциация паров летучих металлоорганических соединений в вакууме на поверхности подложки, нагретой до температуры термораспада соединения, предусматривает наличие вакуумной системы, обеспечивающей рабочее остаточное давление порядка 0,1—10 Па (реже до 1—10 мкПа). Более глубокий вакуум нарушает адсорбционно-десорбционный механизм образования металлического слоя. При этом необходимо поддерживать оптимальное соотношение поверхности испарения исходного вещества и скорости откачки отходящих газов.

Подложку необходимо нагреть до такой температуры, чтобы обеспечить достижение достаточной скорости термораспада, с тем чтобы процесс диссоциации был осуществлен полностью. Не следует забывать также об оптимальной температуре реакционного газа — не слишком низкой (иначе произойдет конденсация исходного газа) и не слишком высокой (иначе начнется термораспад в газовой фазе с образованием мельчайших частиц во всем объеме реактора). Температура стенок, деталей и магистралей реактора также имеет важное значение. Температура в испарителе при постоянном зеркале испарения по существу регулирует скорость подачи паров исходного летучего соединения в реактор.

Одна из первых технологических схем металлизации подложек термическим разложением легколетучих металлоорганических веществ в вакууме, предложенная в 1965 г. (В. Г. Сыркин), предусматривала осаждение железных, никелевых или железо-никелевых покрытий (рис. 10). Принцип работы установки следующий: смесь, состоящая из жидких карбонилов железа и никеля, превращается в смесителе в парооб-

разное состояние и через дозатор направляется в реактор, где пары карбонилов, соприкасаясь с нагретыми диэлектрическими подложками, разлагаются с образованием железо-никелевой (пермаллойной) пленки. Этим способом можно изготавливать сопротивления, конденсаторы и проводники для радиоэлектронных схем.

На этой установке было впервые осуществлено получение контактов для микроминиатюрных радиосхем, тонких ферромагнитных железо-никелевых пленок для элементов памяти счетно-решающих устройств.

3.1.2. Термическая диссоциация

в несущем газе

Термическая диссоциация паров летучих металлоорганических соединений в несущем газе на поверхности подложки, нагретой до температуры термораспада соединения, также широко распространена на практике, как и термораспад в неглубоком вакууме.

В этом методе воздух удаляется не с помощью вакуума, а путем транспортировки паров исходных соединений несущим газом.

В качестве несущих газов используются инертные газы (гелий, аргон, криптон), очищенный от кислорода

и других примесей азот, а также водород и оксиды углерода — СО и С02. Так, водород применялся в широко распространенном в 50-х годах галогенидно-водородном методе термической диссоциации галогенидов, а оксиды углерода (наряду с другими газами) — при карбонильном способе осаждения покрытий. При нанесении оксидных покрытий используется смесь инертных газов с кислородом или с очищенным воздухом. В тех случаях, когда требуется получить примеси карбидов или свободного углерода, в качестве несущего газа используются газообразные углеводороды.

Скорость массопереноса несущих газов, содержащих пары металлсодержащих соединений, должна быть такой, чтобы на поверхности подложки успевал пройти процесс термической диссоциации.

Оптимальная температура подложки способствует успешному осуществлению процесса термораспада, а правильно подобранная температура реакционного газа, стенок реактора и магистралей препятствует образованию высокодисперсных частиц металла в объеме и конденсации кристаллических частиц исходного летучего вещества на стенках.

Несмотря на то что несущий газ быстрее подводит пары летучих металлсодержащих соединений к подложке, концентрация последних у металлизируемой поверхности в этом случае ниже, чем в методе без несущего газа (при разложении в вакууме). При низкой концентрации металлоорганических соединений эффективность метода металлизации с несущим газом становится меньшей, чем эффективность вакуумного метода. Однако, несмотря на это, часто несущий газ бывает необходим. Например, при получении оксидных пленок железа и кобальта (Б. Г. Грибов и др.) при разложении соответствующих карбонилов несущий кислородсодержащий газ также участвует в реакции:

4Fe (СО) 5+ (3+0,5х) 02=2Fe203+ (20-х) С0+хС02.

На рис. 11 изображена схема получения металлических покрытий разложением карбонилов металлов в несущем газе или в вакууме (1—1000 Па).

Для нагревания можно использовать много способов — пропускать через подложку электрический ток (резистивный нагрев), подвергать ее инфракрасному облучению через термостойкое стекло, воздействовать на нее токами высокой частоты (индукционный обо-

Оглавление статьи Страницы статьи:  1  2  3  ...  14  15  16  ...  28  29  30 

Автор: Администрация   Общая оценка статьи:    Опубликовано: 2011.09.02   

_ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _

ЛИЧНЫЙ КАБИНЕТ:



запомнить  Регистрация

Металлоторговля:
Объявления
Прайсы (по торг. позициям)
Прайсы (в файлах)

Марки металлов
Калькулятор веса металла

Новости

НОВЫЕ ОБЪЯВЛЕНИЯ

17:56 Стружку стальную

17:01 Продам координатный станок 2Е450АФ1

13:37 Труба 57, склад Ярославль

13:08 Станки с ЧПУ для металлообработки Tayor

12:57 Лист 60С2А Лист 65Г х/к, г/к ГОСТ 14959-79, ГОСТ 19904-90

10:00 Ходовые винты.

10:00 Звездочки для цепей.

08:46 Круг сталь 40ХН с 10мм до 300мм ГОСТ 2590-2006

08:45 Круг сталь 10Х17Н13М3Т

08:45 Лист сталь 08Х18Н10Т

НОВОСТИ

25 Апреля 2017 10:04
Велосипед без цепной передачи

26 Апреля 2017 17:41
Китайский импорт коксующегося угля в 1-м квартале вырос на 50%

26 Апреля 2017 16:30
”ЮниСпринг” осваивает новый вид

26 Апреля 2017 15:24
Выпуск стали в ЕС в марте вырос на 6,7%

26 Апреля 2017 14:09
”НЛМК” наращивает мощности по вдуванию на шестой доменной печи

26 Апреля 2017 13:08
Китайский среднесуточный выпуск стали в начале апреля вырос на 1,2%

НОВЫЕ СТАТЬИ

Офисная мебель

Сварочные работы в промышленности и строительстве

Видеорегистраторы - основные характеристики

Датчики уровня сыпучих материалов

Лазерные уровни в строительстве

Насосы для колодцев и их основные характеристики

Комплектующие для обустройства железнодорожных путей

Особенности сдачи металлолома в пункты приема

Как открыть свой магазин быстро и оснастить его всем необходимым?

А вы знаете, для чего используют транспортерные сетки?

Какие заборы сегодня наиболее эффективно могут защитить объекты транспортной инфраструктуры?

Про упаковку из воздушно-пузырьковой пленки

Услуги металлообработки от компании Металворк

Экструдеры для производства пластмассовых изделий

Кран шаровый муфтовый фланцевый – универсальная запорная арматура

Лист нержавеющий AISI 409 - особенности марки и применение

Характеристики и общие особенности марки стали 40Х13

Свойства и особенности применения проката из нержавейки марки 20Х13

 ГЛАВНАЯ   МЕТАЛЛОТОРГОВЛЯ   ОБЪЯВЛЕНИЯ   ПРАЙСЫ   КОМПАНИИ   СТАТЬИ   РАБОТА   ФОРУМ   ГОСТы   МАРОЧНИК   КАЛЬКУЛЯТОР   БИРЖЕВЫЕ ЦЕНЫ   ВЫСТАВКИ  

Компания "РДМ" предлагает металлопрокат.

Рейтинг@Mail.ru

О портале : Информация и правила : Реклама : Тарифы для компаний : Наши контакты : Связаться : Личный кабинет : Регистрация

2009-2017 © Любое копирование материалов без активной ссылки на metallicheckiy-portal.ru запрещено!
Использование материалов в печатных изданиях только с разрешения администрации портала.