Центральный металлический портал РФлучшие сервисы для Вашего бизнеса

 ГЛАВНАЯ   МЕТАЛЛОТОРГОВЛЯ   ОБЪЯВЛЕНИЯ   ПРАЙСЫ   КОМПАНИИ   СТАТЬИ   РАБОТА   ФОРУМ   ГОСТы   МАРОЧНИК   КАЛЬКУЛЯТОР   БИРЖЕВЫЕ ЦЕНЫ   ВЫСТАВКИ  

Открыт новый раздел: Прайс-листы в файлах! (Excel и др.), доступен упрощенный просмотр прайсов без скачивания!
Полезные статьи -> Научные исследования -> Различные аспекты газофазной металлизации -> Часть 2

Различные аспекты газофазной металлизации (Часть 2)

только в текущем разделе

Страницы:    1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  ...  26  27  28  29  30   

Торных и опытно-промышленных установок для разложения металлоорганических соединений. Основываясь на приведенных в них материалах, можно четко уяснить, какие основные узлы должна иметь любая установка, предназначенная для газофазного разложения металлоорганических соединений.

Перечислим их:

— смеситель исходных веществ, снабженный устройством для ввода растворителей и добавок;

— испаритель исходного металлоорганического соединения или смеси веществ;

— реактор, оборудованный устройством для нагрева и вращения подложки;

— вакуумная или газовая система, предназначенная для создания неглубокого разряжения или потока несущего газа;

— узлы дозировки и подачи реагирующих веществ, как правило, оборудованные системой термостатированных рубашек;

— системы КИП и автоматики для осуществления контроля технологических параметров процесса (вакуум, температура подложки и испарителя, скорости потока и т. п.) и возможности командного воздействия на приборы узла дозировки и подачи веществ;

— вытяжной шкаф (или бокс), оборудованный приточно-вытяжной вентиляцией и системой сжигания (нейтрализации) в случае необходимости вредных газообразных сбросов.

Газофазную металлизацию нельзя сводить исключительно к термической диссоциации легколетучих соединений на поверхности нагретой подложки. В общем случае газофазное разложение металлоорганических соединений можно условно представить как ряд последовательных и параллельных элементарных процессов, на которых мы еще остановимся ниже (см. раздел 3.3.2).

В последние годы для газофазной металлизации подложек путем разложения паров легколетучих металлоорганических веществ применялись следующие методы: термическая диссоциация в неглубоком вакууме, термическая диссоциация в несущем газе (инертном или реагирующим с исходным веществом), диссоциация в плазме газового разряда, электроннолучевая металлизация, а также металлизация под воздействием на пары металлоорганических веществ излучения оптического квантового генератора.

В подавляющем большинстве работ газофазное разложение паров металлоорганических веществ на подложке осуществлялось с использованием первых двух методов. Однако каждый из перечисленных методов имеет свои особенности, играющие иногда важную роль при получении металлических покрытий с заданными свойствами. Ниже мы остановимся на рассмотрении каждого метода в отдельности.

3.1.1. Термическая диссоциация

в неглубоком вакууме

Термическая диссоциация паров летучих металлоорганических соединений в вакууме на поверхности подложки, нагретой до температуры термораспада соединения, предусматривает наличие вакуумной системы, обеспечивающей рабочее остаточное давление порядка 0,1—10 Па (реже до 1—10 мкПа). Более глубокий вакуум нарушает адсорбционно-десорбционный механизм образования металлического слоя. При этом необходимо поддерживать оптимальное соотношение поверхности испарения исходного вещества и скорости откачки отходящих газов.

Подложку необходимо нагреть до такой температуры, чтобы обеспечить достижение достаточной скорости термораспада, с тем чтобы процесс диссоциации был осуществлен полностью. Не следует забывать также об оптимальной температуре реакционного газа — не слишком низкой (иначе произойдет конденсация исходного газа) и не слишком высокой (иначе начнется термораспад в газовой фазе с образованием мельчайших частиц во всем объеме реактора). Температура стенок, деталей и магистралей реактора также имеет важное значение. Температура в испарителе при постоянном зеркале испарения по существу регулирует скорость подачи паров исходного летучего соединения в реактор.

Одна из первых технологических схем металлизации подложек термическим разложением легколетучих металлоорганических веществ в вакууме, предложенная в 1965 г. (В. Г. Сыркин), предусматривала осаждение железных, никелевых или железо-никелевых покрытий (рис. 10). Принцип работы установки следующий: смесь, состоящая из жидких карбонилов железа и никеля, превращается в смесителе в парооб-

разное состояние и через дозатор направляется в реактор, где пары карбонилов, соприкасаясь с нагретыми диэлектрическими подложками, разлагаются с образованием железо-никелевой (пермаллойной) пленки. Этим способом можно изготавливать сопротивления, конденсаторы и проводники для радиоэлектронных схем.

На этой установке было впервые осуществлено получение контактов для микроминиатюрных радиосхем, тонких ферромагнитных железо-никелевых пленок для элементов памяти счетно-решающих устройств.

3.1.2. Термическая диссоциация

в несущем газе

Термическая диссоциация паров летучих металлоорганических соединений в несущем газе на поверхности подложки, нагретой до температуры термораспада соединения, также широко распространена на практике, как и термораспад в неглубоком вакууме.

В этом методе воздух удаляется не с помощью вакуума, а путем транспортировки паров исходных соединений несущим газом.

В качестве несущих газов используются инертные газы (гелий, аргон, криптон), очищенный от кислорода

и других примесей азот, а также водород и оксиды углерода — СО и С02. Так, водород применялся в широко распространенном в 50-х годах галогенидно-водородном методе термической диссоциации галогенидов, а оксиды углерода (наряду с другими газами) — при карбонильном способе осаждения покрытий. При нанесении оксидных покрытий используется смесь инертных газов с кислородом или с очищенным воздухом. В тех случаях, когда требуется получить примеси карбидов или свободного углерода, в качестве несущего газа используются газообразные углеводороды.

Скорость массопереноса несущих газов, содержащих пары металлсодержащих соединений, должна быть такой, чтобы на поверхности подложки успевал пройти процесс термической диссоциации.

Оптимальная температура подложки способствует успешному осуществлению процесса термораспада, а правильно подобранная температура реакционного газа, стенок реактора и магистралей препятствует образованию высокодисперсных частиц металла в объеме и конденсации кристаллических частиц исходного летучего вещества на стенках.

Несмотря на то что несущий газ быстрее подводит пары летучих металлсодержащих соединений к подложке, концентрация последних у металлизируемой поверхности в этом случае ниже, чем в методе без несущего газа (при разложении в вакууме). При низкой концентрации металлоорганических соединений эффективность метода металлизации с несущим газом становится меньшей, чем эффективность вакуумного метода. Однако, несмотря на это, часто несущий газ бывает необходим. Например, при получении оксидных пленок железа и кобальта (Б. Г. Грибов и др.) при разложении соответствующих карбонилов несущий кислородсодержащий газ также участвует в реакции:

4Fe (СО) 5+ (3+0,5х) 02=2Fe203+ (20-х) С0+хС02.

На рис. 11 изображена схема получения металлических покрытий разложением карбонилов металлов в несущем газе или в вакууме (1—1000 Па).

Для нагревания можно использовать много способов — пропускать через подложку электрический ток (резистивный нагрев), подвергать ее инфракрасному облучению через термостойкое стекло, воздействовать на нее токами высокой частоты (индукционный обо-

Страницы:    1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  ...  26  27  28  29  30   

_ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _

ЛИЧНЫЙ КАБИНЕТ:



запомнить  Регистрация

Металлоторговля:
Объявления
Прайсы (по торг. позициям)
Прайсы (в файлах)

Марки металлов
Калькулятор веса металла

Новости

Статьи

Металлография
Карбонилы металлов и металлорганические соединения
Выращивание металла в газовой фазе
Различные аспекты газофазной металлизации
Тугоплавкие соединения редкоземельных металлов
Измерение толщины металлических покрытий
• Размерная стабильность титановых сплавов
• Повышение сопротивления микропластическим деформациям медных сплавов

НОВЫЕ ОБЪЯВЛЕНИЯ

Ч 16:33 Высокопрочная сталь. Износостойкая сталь. Высокопрочные леги

Ч 16:33 Износостойкие, броневые и закаливаемые стали

Т 16:33 Стеклопластиковый настил и профили ТУ 2296-004-68696326-2015

Ц 16:33 предлагаем титановый прокат

Ч 16:18 Перфорированный лист в наличии и под заказ

Т 16:12 Решетчатый стальной настил в наличии

Ч 16:12 Труба 1020х13

Т 15:54 Продажа кабельных муфт

Т 15:51 3д сканирование, литье в силиконовые формы

У 15:51 Литье пластмасс под давлением, пресс-форы

Ц 15:39 Прокат цветного и нержавеющего металла,из наличия

Т 15:04 Прототипы, литье в силиконовые формы

НОВОСТИ

27 Сентября 2016 14:19
115-летний вуппертальский монорельс (20 фото, 1 видео)

30 Сентября 2016 12:01
”Петропавловск” готовит документы для строи­тельства на Гаринском

30 Сентября 2016 11:34
Запасы железной руды в китайских портах за третью неделю сентября упали на 1,86%

30 Сентября 2016 10:59
Владелец ”НТМК” возглавил топ-100 доходности меткомпаний России

30 Сентября 2016 09:09
На заводе ”Лиотех” в Новосибирске приступили к выпуску новой продукции

30 Сентября 2016 08:24
”ЧТЗ” занялся рециклингом машин

НОВЫЕ СТАТЬИ

Машины для обработки кромки

Как нужно зарабатывать на сдаче металлолома сегодня

Качественный утеплитель для дома

Арматура для отопительных радиаторов - основные разовидности

Турбокомпрессоры в автомашинах и спецтехнике

Общие основы использования горячекатанного нержавеющего квадрата в производстве

Квадратный прокат из нержавеющий стали - виды и применение

Круг горячекатаный в разных отраслях промышленности

Классификация кругов и прутков нержавеющих

Нержавеющая стальная проволока - общие сведения

Основные виды сварочной проволоки из нержавейки

Обзор автокранов и их назначение

Строительство и борьба с грунтом

Международное право в области иммиграции

Как применяются резервуары в различных отраслях промышленности

Проволока сварочная Св-06Х19Н9Т для сварки легированных сталей

Сетка нержавеющая сварная - виды и особенности

Проволока нержавеющая сварочная и её применение в промышленности

Прием металлолома в Москве

Болты - технология, свойства, применение

 ГЛАВНАЯ   МЕТАЛЛОТОРГОВЛЯ   ОБЪЯВЛЕНИЯ   ПРАЙСЫ   КОМПАНИИ   СТАТЬИ   РАБОТА   ФОРУМ   ГОСТы   МАРОЧНИК   КАЛЬКУЛЯТОР   БИРЖЕВЫЕ ЦЕНЫ   ВЫСТАВКИ  

Открыт новый раздел: Прайс-листы в файлах! (Excel и др.), доступен упрощенный просмотр прайсов без скачивания!

Компания "РДМ" предлагает металлопрокат.

Рейтинг@Mail.ru

О портале : Информация и правила : Реклама : Тарифы для компаний : Наши контакты : Связаться : Личный кабинет : Регистрация

2009-2014 © Любое копирование материалов без активной ссылки на metallicheckiy-portal.ru запрещено!
Использование материалов в печатных изданиях только с разрешения администрации портала.