Центральный металлический портал РФлучшие сервисы для Вашего бизнеса

 ГЛАВНАЯ   МЕТАЛЛОТОРГОВЛЯ   ОБЪЯВЛЕНИЯ   ПРАЙСЫ   КОМПАНИИ   СТАТЬИ   РАБОТА   ФОРУМ   ГОСТы   МАРОЧНИК   КАЛЬКУЛЯТОР   БИРЖЕВЫЕ ЦЕНЫ   ВЫСТАВКИ  

Полезные статьи -> Научные исследования -> Различные аспекты газофазной металлизации -> Часть 11

Различные аспекты газофазной металлизации (Часть 11)

только в текущем разделе

Страницы:    1  2  3  4  5  ...  10  11  12  13  14  ...  26  27  28  29  30   

нические повреждения пленок при сборочных операциях.

Пленки W и Мо, используемые в МД11-транзисторах в качестве электродов затвора, обеспечивают низкие значения пороговых напряжений и уменьшают вероятность прокола подзатворного диэлектрика. Эти пленки могут с успехом применяться для маскирования при диффузии и ионной имплантации, а также в приборах с барьером Шотки. Оказалось также, что незначительная электромиграция ионов металла при больших плотностях тока представляет особый интерес для создания нового поколения мощных транзисторов.

В силу указанных причин у нас в стране получение тонких металлических пленок для планарной технологии осуществляется исключительно карбонильным методом. В качестве исходного сырья применяются гексакарбонилы молибдена и вольфрама, а в последнее время начал использоваться и тетракарбонил никеля.

Каждому знакомы электронные часы с цифровой светящейся индикацией, выпускаемые в Советском Союзе в серии «Электроника». «Сердцем» таких часов является так называемая МДП-интегральная схема [М — карбонильный металл (молибден, вольфрам или никель); Д — диэлектрик (обычно диоксид кремния); П — полупроводник (кремний)].

Полупроводник толщиной 0,3—0,6 мм вначале покрывается тонким слоем диэлектрика, а затем карбонильным молибденом. После фотолитографической обработки на молибден наносится «пассивный» слой Si02 (который также фотолитографируется, но другим рисунком), а затем на оголенные участки молибдена наносятся алюминиевые контакты. Молибден в МДП-структурах несет сразу несколько нагрузок. Он выполняет роль первого слоя разводки схемы (токоведущей шины) и роль электрода затвора.

МДП-интегральная схема часов «Электроника» именуется также БИСом, т. е. большой интегральной схемой. Вся электронная схема часов размещается на пластинке кремния размером 2.2 мм2 и толщиной 0,3— 0,6 мм. Она состоит из нескольких тысяч транзисторов, резисторов, конденсаторов и диодов. Их связывают карбонильная молибденовая шина и алюминиевые контакты.

Карбонильные молибденовые пленки получаются на компактных стандартных установках «Время», раз

работанных Б. Г. Анохипым, Е. Е. Качуриной и А. М. Кукушкиным. Установками «Время» и «Время-3» теперь оснащены все заводы, выпускающие часы серии «Электроника». Установки работают автоматически — они снабжены роботами-программаторами. (Робот-программатор в разные моменты работы установки включает и выключает различные дозаторы, клапаны и насосы, обеспечивая заданный режим металлизации.)

«Время» — высокопроизводительная установка. Посудите сами: за одну только смену на установке проводят три процесса и наносят при этом пленки молибдена на 54 кремниевые пластины диаметром 80 мм. За 6 ч одна установка «Время» нарабатывает МДП-пластины более чем для 10 тысяч пар часов серии «Электроника»!

Эксплуатация отечественных часов серии «Электроника» марок Б6-202, Б6-204, Б-03 и др. убедительно доказала преимущество химического метода изготовления слоя М в МДП-структурах перед принятыми за границей методами вакуумного напыления и катодного испарения металла. Газофазный карбонильный метод резко повысил адгезию металла, увеличив долговечность отечественных часов, которые поставляются в настоящее время более чем в 100 стран мира.

4.3. Металлические слои

для магнитной записи звука и изображения

Магнитная запись звуковых сигналов и видимого изображения осуществляется в настоящее время почти всюду с помощью магнитных лент, хотя для специальных целей используются и другие виды посителей магнитных сигналов — листовые, дисковые, барабанные и проволочные. Магнитные ленты для звуко- и видеозаписи выпускаются в колоссальных количествах. Достаточно сказать, что в 1982 г. их мировое производство составило в денежном выражении сумму около 1 млрд долл.

Обычная магнитная лента представляет собой магнитный слой (магнитный носитель — порошок со связующим), нанесенный на пластмассовую основу (пластмасса (полиимид, лавсан, триэтилацетат) толщиной ~40 мкм).

Самое широкое распространение во всем мире получил в настоящее время порошок из гамма-оксида железа (у-Fe203) с игольчатой формой частиц.

Даже не будучи радиотехником, нетрудно сообразить, чем определяется качество магнитной ленты для записи звука и видимого изображения: она должна легко намагничиваться и размагничиваться, но в то же время надежно хранить записанный на ней сигнал. Физик переводит эти требования в термины, характеризующие магнитные свойства носителя сигнала: коэрцитивная сила Нс и остаточная индукция Вr (они характеризуют легкость намагничивания и размагничивания ленты), а также коэффициент прямоуголыюсти Кп (он характеризует четкость сигнала).

И еще одно требование: чтобы в кассете уместилось побольше пленки, она должна быть как можно тоньше.

Магнитный слой, изготовленный из частиц оксидного порошка, не имеет особых перспектив из-за своей большой толщины. Но оказалось, что магнитный слой из оксидных порошков можно с успехом заменить сплошными металлическими слоями. Причем металлические слои следует наносить непосредственно на пластмассовую основу, минуя громоздкие стадии получения порошка, его смешения со связующими и «наклеивания» на основу.

Металлические слои из никеля или его сплавов с кобальтом (толщина слоя от 0,5 до 5 мкм) обладают хорошими магнитными свойствами. Они состоят из однодоменных 10 областей намагничивания. Причем свойства металлической пленки зависят от условий осаждения металла и сплава, регулирующих микроструктуру осажденной фазы. Кроме того, большое значение имеет природа металла (или сплава), взятого для получения магнитного металлического слоя.

Толщина получаемых металлических пленок существенно влияет па величину коэрцитивной силы. При увеличении толщины пленки от 1 до 10 мкм коэрцитивная сила Hс уменьшается в 5—10 раз (в зависимости от металла).

За рубежом при получении металлических слоев для звукозаписи используются лишь гальванический и химический (в растворе) методы. Метод вакуумного испарения не дает хороших результатов из-за низкой коэрцитивной силы (Hс=120-И50 Э у слоя толщиной 1 мкм; в химическом методе HС=300-Н000 Э).

Карбонильный метод, как было показано выше, позволяет получать металлические пленки с заданными свойствами: внутренней структурой, рельефом поверхности, химическим составом и др., предопределяющими требуемые магнитные параметры. В 1969 г. В. П. Гераськовым, И. С. Толмасским и др. был предложен метод получения металлических слоев для звукозаписи термическим разложением паров карбонилов одного или нескольких металлов при температуре 60—150° С. Слои могут наноситься как на непрерывную ленту, так и на отдельные диски.

Магнитные карбонильные никелевые слои для звукозаписи не уступают по магнитным параметрам лучшим магнитным слоям из порошка y-Fе203, изготовленным в Советском Союзе и за рубежом. Так, для карбонильного никелевого слоя Hс=240-300 Э, Br=(2,5--3) 103 Гс и Kп=0,9-1,0. Плотность записи никелевых слоев по крайней мере вдвое превышает соответствующую плотность записи порошковых железо-оксидных слоев.

Приведена схема получения металлических магнитных слоев для звукозаписи карбонильным методом.

Скорость подачи паров тетракарбонила никеля влияет на величину коэрцитивной силы образующейся никелевой пленки. Так, при увеличении скорости роста пленки от 23 до 64 нм/мин коэрцитивная сила возрастает с 61 до 92 Э (при постоянной температуре лавсановой подложки, равной 90° С), а увеличение температуры лавсановой основы в процессе никелирования с 90 до 110° С приводит к росту коэрцитивной силы от

Страницы:    1  2  3  4  5  ...  10  11  12  13  14  ...  26  27  28  29  30   

_ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _

ЛИЧНЫЙ КАБИНЕТ:



запомнить  Регистрация

Металлоторговля:
Объявления
Прайсы (по торг. позициям)
Прайсы (в файлах)

Марки металлов
Калькулятор веса металла

Новости

Статьи

Металлография
Карбонилы металлов и металлорганические соединения
Выращивание металла в газовой фазе
Различные аспекты газофазной металлизации
Тугоплавкие соединения редкоземельных металлов
Измерение толщины металлических покрытий
• Размерная стабильность титановых сплавов
• Повышение сопротивления микропластическим деформациям медных сплавов

НОВЫЕ ОБЪЯВЛЕНИЯ

Ч 16:43 Сетка стальная кладочная

Ч 16:43 Круг стальной Ст.35

Ч 16:43 Круг стальной ст.45

Ч 16:43 Круг стальной Ст. 20

Ч 16:43 Лист стальной сталь 45

Ч 16:43 Лист металлический 09Г2С

Ч 16:43 Уголок стальной равнополочный и неравнополчный Ст3

Ч 16:43 Круг стальной Ст3

Ч 16:43 Профнастил полиэстр

Ч 16:43 Балка стальная двутавровая Ст3

Ч 16:43 Арматура

Ч 16:43 Профнастил кровельный

НОВОСТИ

23 Января 2017 08:22
Алюминиевые футляры для бензопил

23 Января 2017 07:26
Высокоскоростное фрезерование

23 Января 2017 17:09
Американский импорт сортовой стали в декабре 2016 года вырос на 6%

23 Января 2017 16:52
Компания ”ОМЗ-Спецсталь” прошла аттестацию нового вида продукции

23 Января 2017 15:20
Тайваньский импорт холоднокатаных рулонов в декабре 2016 года упал на 54%

23 Января 2017 14:32
”Северсталь” объявляет о подписании договора о продаже компании ”Redaelli”

23 Января 2017 13:25
В Магаданской области в прошедшем году добыто 27,87 тонн золота и 889 тонн серебра

НОВЫЕ СТАТЬИ

Дробильное оборудование для горно-шахтной отрасли

Востребованные быстровозводимые и каркасные металлоконструкции

Классификация современной строительной арматуры

Шнек для цемента от компании ТензоТехСервис

Современные микросхемы - основные виды

Мелкие крепежи для электромонтажных, сантехнических и строительных работ

Латунная труба и прокат в промышленности

Муфта и ниппель по ДТР

3 способа обустройства выносных балконов

Стабилизаторы напряжения и их особенности

Промышленное холодильное оборудование

Вентиляторные градирни и комплектующие для них

Электрические шкафы и комплектующие для них

Никелевая лента 79НМ

Разработка плана ликвидации аварий

Легкие каркасные металлоконструкции

Современные системы кондиционирования

Комплектующие и фурнитура для мебели

Обои для жилых и общественных помещений

Завод по производству металлоконструкций

 ГЛАВНАЯ   МЕТАЛЛОТОРГОВЛЯ   ОБЪЯВЛЕНИЯ   ПРАЙСЫ   КОМПАНИИ   СТАТЬИ   РАБОТА   ФОРУМ   ГОСТы   МАРОЧНИК   КАЛЬКУЛЯТОР   БИРЖЕВЫЕ ЦЕНЫ   ВЫСТАВКИ  

Компания "РДМ" предлагает металлопрокат.

Рейтинг@Mail.ru

О портале : Информация и правила : Реклама : Тарифы для компаний : Наши контакты : Связаться : Личный кабинет : Регистрация

2009-2014 © Любое копирование материалов без активной ссылки на metallicheckiy-portal.ru запрещено!
Использование материалов в печатных изданиях только с разрешения администрации портала.