Центральный металлический портал РФлучшие сервисы для Вашего бизнеса

 ГЛАВНАЯ   МЕТАЛЛОТОРГОВЛЯ   ОБЪЯВЛЕНИЯ   ПРАЙСЫ   КОМПАНИИ   СТАТЬИ   РАБОТА   ФОРУМ   ГОСТы   МАРОЧНИК   КАЛЬКУЛЯТОР   БИРЖЕВЫЕ ЦЕНЫ   ВЫСТАВКИ  

Полезные статьи -> Научные исследования -> Различные аспекты газофазной металлизации -> Часть 11

Различные аспекты газофазной металлизации (Часть 11)

только в текущем разделе

Страницы:    1  2  3  4  5  ...  9  10  11  12  13  ...  26  27  28  29  30   

было использовать в переключателях тока в диодам с динамическим отрицательным сопротивлением, требуется толщина покрытия порядка 0,8—1,5 мкм. В фотоприемниках, преобразователях изображений и в оптических системах памяти, наоборот, необходимы полупрозрачные тонкие металлические пленки толщиной 3000—5000 А. При формировании никелевых покрытий толщиной порядка 1 мкм время экспозиции равно 10— 15 мин, а при осаждении тонких полупрозрачных пленок толщиной порядка 3000 А—1—2 мин. При этом температура подложки равна 300° С. Аналогичные данные получены также и для тонких карбонильных молибденовых слоев, в этом случае оптимальная температура нагрева подложек равна 400° С.

Карбонильным методом можно получать электросопротивления заранее заданной величины, для чего необходимо поддерживать определенный режим процесса и получать тонкие резистивные пленки заданной толщины.

Пленки наносятся на стеклянные или кварцевые подложки. Паровая фаза состоит на 50% из Ni(CO)4 и на 50% из Fe(CO)5. Пленки толщиной 30 нм образуются в течение 3 мин. Скорость отходящих газов равна 1 - 10-4 моль/мин. Давление в реакторе составляет 100-200 Па.

Карбонильным методом изготавливают также пленки-сопротивления для микроминиатюрных радиосхем с удельным электрическим сопротивлением р>10 Ом-•мм2/м и токопроводящие пленки-контакты, а также обкладки конденсаторов с р<0,1 Ом-мм2/м.

При осаждении нихрома и хрома получаются пленки с электросопротивлением9 от 200 до 10000 Ом/квадрат. Эти пленки-сопротивления стабильны и имеют температурный коэффициент, не превышающий ±50.10~6 град-1.

Тонкие пленки-конденсаторы представляют собой в простейшем случае отполированную диэлектрическую подложку, покрытую с обеих сторон тонкими пленка-ми-проводниками, или чередующиеся проводящие и диэлектрические пленки.

В качестве диэлектрика могут использоваться Si02, а120з и другие материалы, в качестве проводников —

Cu, Ag, Аи, А1 и т. д. Все слои пленки-конденсатора (некоторые из них имеют более пятнадцати слоев) должны скрупулезно соответствовать друг другу. Кроме того, помимо обычной очистки, диэлектрические подложки должны быть тщательно отполированы: ничтожная неровность или точечный бугорок способны прорвать два или три вышележащих слоя и вызвать короткое замыкание.

Образование карбонилов металлов первой группы, из которых можно было бы получить металлические обкладки пленок-конденсаторов, затруднено. Так, карбонил меди в чистом виде до сих пор не получен. Однако можно получить карбонилхлорид меди, Си(СО)С1, который уже при 60° С и атмосферном давлении полностью разлагается с образованием чистой меди. Может быть получено также карбонильное соединение серебра Ag2SO4(CO).

Пленки-индуктивности представляют особый интерес, так как индуктивные элементы до сих пор изготавливаются в виде катушек, т. е. проволочек, намотанных на миниатюрные ферритовые сердечники соответствующей формы, что в значительной степени тормозит развитие микроминиатюризации в электронной технике. Сейчас ведутся исследования по созданию индуктивностей в виде «пленок-спиралей», «пленок-лабиринтов» и других тонких карбонильных металлических пленок из кобальта, железа и никеля.

4.2. Электронная схема часов

выращивается в реакторе

К 1959 г. практически не было публикаций о разложении металлоорганических соединений — металлоорганическая химия делала свои пока еще первые шаги. Зато в это время много говорилось и писалось о галогенидно-водородном методе получения металлов.

В начале 60-х годов Е. Е. Качуриной была создана установка по разложению хлоридов в токе водорода для получения тонких металлических пленок, которые наносились на полупроводниковые и оксидные подложки.

Однако результаты исследований показали, что хлоридный метод в силу специфики исходных веществ — хлоридов — очень неудобен для металлизации: хлориды легко гидролизуются, склонны к так называемому предразложенно, кроме того, они выделяют очень агрес

сивный газ — хлористый водород, который приводит к коррозии магистралей, а главное — хлориды разлагаются при очень высокой температуре. Например, центахлорид молибдена МоС15 диссоциирует в токе водорода при температурах от 800 до 1400° С, при этом оптимальная температура лежит в области 1000° С. Попытка применить различные технологические ухищрения и использовать каталитические добавки ни к чему не привела. Оказалось, что галогениды неудобны для металлизации подложек.

К этому периоду определились жесткие требования к контактным и проводящим пленкам для различных интегральных схем, в том числе для схем электронных часов с цифровой индикацией. Разработка схем с высоким уровнем интеграции, появление структур с многоуровневой металлизацией, возрастание требований к параметрам и надежности подобных устройств резко повысили интерес к газофазной металлизации, стимулировали поиски новых контактных и проводящих материалов и композиций, методов их нанесения, разработку и совершенствование соответствующего оборудования.

Металлы должны были обладать высокой адгезией к полупроводниковой подложке и диэлектрическим пленкам, высокой пластичностью, химической стойкостью в агрессивных, в частности окислительных, средах и не должны были образовывать химических соединений и легкоплавких эвтектик в системах полупроводник — металл и металл — изолятор.

В 1969 г. Е. Е. Качурииа прочитала в Журнале физической химии (№ 11) статью о термодинамическом анализе процесса получения карбонильных вольфрамовых покрытий. Эта статья заинтересовала ее. Она решила попробовать для своих целей карбонилы металлов и обратилась за помощью в лабораторию карбонильных материалов ГНИИХТЭОС. Здесь ей показали, как работают установки по получению карбонильных молибденовых и вольфрамовых пленок в неглубоком вакууме.

Качурина решила провести разложение гексакарбонила молибдена, использовав свою установку по получению молибденовых пленок из хлорида. Чтобы не тратить время на создание вакуумной системы, она решила термораспад Мо(СО)6 проводить в токе водорода.

И вот подошел долгожданный момент пуска установки. Все было тщательно подготовлено и проворено. Качурина засыпала гексакарбонил молибдена в капсулу, включила высокочастотный индуктор для нагрева подложек, которые крепились на пирамидке-нагревателе, довела температуру до 400° С и... проблема была решена: на поверхности кремния легко образовалась равномерная светло-серая пленка молибдена!

Уже в 1971 г. Е. Е. Качуриной и Б. Г. Анохиным был разработан низкотемпературный метод получения тонких молибденовых пленок для транзисторов типа СВЧ-МДП, которые разработал тогда молодой ученый физик О. В. Сопов. В 1972 г. к работе подключились конструкторы под руководством А. М. Кукушкина. Была отвергнута идея индукционного обогрева подложек и вместо нее предложены инфракрасные облучатели. Так возникла новая установка Э9.Р120.М. Пока это была еще маленькая установка с металлической камерой, оборудованной смотровым окном. Сверху пирамидки-нагревателя внутри камеры крепился испаритель карбонила молибдена, через который продувался несущий газ — водород.

Переоценить значение этой первой установки невозможно. Уже в 1973 г. ее братья-близнецы были смонтированы сразу на нескольких заводах.

В 1975 г. появилась первая публикация Е. Е. Качуриной, Б. Г. Анохина и А. М. Кукушкина в журнале «Электронная промышленность» о решении проблемы низкотемпературной металлизации из газовой фазы полупроводниковых и оксидных структур. В 1978 г. Е. Е. Качуриной за эту работу была присуждена ученая степень кандидата технических наук.

По существу уже с 1975 г. карбонильный метод газофазной металлизации тугоплавкими металлами (такими, как вольфрам и молибден) стал общепризнанным.

Вольфрам и молибден по величине коэффициента термического расширения [(4-6) • 10~6 для W и (4-5) • •10_6 град-1 для Мо] близки к кремнию и не взаимодействуют с диэлектриками, к тому же при температурах выше 600° С они образуют с кремнием соединения тина силицидов (именно поэтому адгезия пленок вольфрама и молибдена к кремнию, диоксиду и нитриду кремния достаточно высока). Высокая твердость тугоплавких вольфрама и молибдена исключает меха

Страницы:    1  2  3  4  5  ...  9  10  11  12  13  ...  26  27  28  29  30   

_ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _

ЛИЧНЫЙ КАБИНЕТ:



запомнить  Регистрация

Металлоторговля:
Объявления
Прайсы (по торг. позициям)
Прайсы (в файлах)

Марки металлов
Калькулятор веса металла

Новости

Статьи

Металлография
Карбонилы металлов и металлорганические соединения
Выращивание металла в газовой фазе
Различные аспекты газофазной металлизации
Тугоплавкие соединения редкоземельных металлов
Измерение толщины металлических покрытий
• Размерная стабильность титановых сплавов
• Повышение сопротивления микропластическим деформациям медных сплавов

НОВЫЕ ОБЪЯВЛЕНИЯ

Т 07:49 Сварочные агрегаты АДД 2х2502, АДД 2х2502 П, АДД 2х2502 ПВГ

Т 07:49 Генераторы дизельные, электростанции АД500, АД500-

Т 07:20 Дизель генератор АД 30,

Т 07:20 Дизельгенераторы С32 , 800кВт Б/у

Т 07:20 Сварочные агрегаты адд 4004, адд 4004 вг и др

Т 07:20 Дизельные электростанции АД 150

Т 07:20 Сварочные агрегаты АДД 2х2502, АДД 2х2502 П, АДД 2х2502 ПВГ

Т 07:20 Дизель генератор, электростанции АД 250, ДЭУ 250,

Т 20:16 Суппорт в сборе 1М63, 163, ДИП 300

Т 20:16 Запчасти для горизонтально-расточных станков

Т 20:16 Запчасти для 16К25

Т 20:16 Винт ходовой, винт поперечной подачи для станков

НОВОСТИ

16 Января 2017 17:17
Мойка подвижного состава

13 Января 2017 08:10
Частные дома из металлоконструкций (23 фото)

18 Января 2017 14:04
”НЛМК” в 22 раза повысил степень очистки пыли на доменной печи №4

18 Января 2017 13:27
Почти 5 тонн золота добыли недропользователи Камчатки в 2016 году

18 Января 2017 12:20
”Росгеология” завершила работы на перспективной на медь и золото Салаирской площади

18 Января 2017 11:28
”Русал” намерен построить в порту Ванино терминал по перевалке глинозема за 5,4 млрд. руб.

18 Января 2017 10:19
Компания ”АЭМ-технологии” модернизировала газорезательное оборудование

НОВЫЕ СТАТЬИ

Муфта и ниппель по ДТР

3 способа обустройства выносных балконов

Стабилизаторы напряжения и их особенности

Промышленное холодильное оборудование

Вентиляторные градирни и комплектующие для них

Электрические шкафы и комплектующие для них

Никелевая лента 79НМ

Разработка плана ликвидации аварий

Легкие каркасные металлоконструкции

Современные системы кондиционирования

Комплектующие и фурнитура для мебели

Обои для жилых и общественных помещений

Завод по производству металлоконструкций

Особенности и выбор рольставен

Охрана промышленных объектов и грузов

Мобильные лаборатории в промышленности

Металл для металлоконструкций

Деколирование подарочной посуды

Некоторые маркетинговые проблемы продаж промышленных товаров

Особенности получения займов в кредитных организациях

 ГЛАВНАЯ   МЕТАЛЛОТОРГОВЛЯ   ОБЪЯВЛЕНИЯ   ПРАЙСЫ   КОМПАНИИ   СТАТЬИ   РАБОТА   ФОРУМ   ГОСТы   МАРОЧНИК   КАЛЬКУЛЯТОР   БИРЖЕВЫЕ ЦЕНЫ   ВЫСТАВКИ  

Компания "РДМ" предлагает металлопрокат.

Рейтинг@Mail.ru

О портале : Информация и правила : Реклама : Тарифы для компаний : Наши контакты : Связаться : Личный кабинет : Регистрация

2009-2014 © Любое копирование материалов без активной ссылки на metallicheckiy-portal.ru запрещено!
Использование материалов в печатных изданиях только с разрешения администрации портала.