Центральный металлический портал РФлучшие сервисы для Вашего бизнеса

 ГЛАВНАЯ   МЕТАЛЛОТОРГОВЛЯ   ОБЪЯВЛЕНИЯ   ПРАЙСЫ   КОМПАНИИ   СТАТЬИ   РАБОТА   ФОРУМ   ГОСТы   МАРОЧНИК   КАЛЬКУЛЯТОР   БИРЖЕВЫЕ ЦЕНЫ   ВЫСТАВКИ  

Полезные статьи -> Научные исследования -> Различные аспекты газофазной металлизации -> Часть 10

Различные аспекты газофазной металлизации (Часть 10)

только в текущем разделе

Страницы:    1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  ...  26  27  28  29  30   

При нанесении вольфрамовых слоев на металлические подложки сцепление в значительной степени определяется температурой их нагрева. Испытания на изгиб, сдавливание и на отрыв показывают, что достаточно хорошее сцепление покрытий достигается при нагревании подложек до 800 °С. Поэтому, если необходимо получить слои, содержащие не чистый вольфрам, а, например, вольфрам и его карбид, рекомендуется двухстадийное ведение процесса: вначале при температуре 800—900° С для достижения высокой адгезии, а затем при низкой температуре для наращивания карбидного слоя. Экспериментальные данные показывают также, что, чем тоньше покрытие, тем лучше оно сохраняется при механических испытаниях.

Прочность сцепления карбонильных никелевых пленок с подложкой достаточно высока. Прочность сцепления Ni-слоя с подложками из оксидов Si02 и Тi02 в интервале 250—700° С независимо от нагрева подложек относительно постоянна. Величина адгезии колеблется в интервале 10—15 кгс/см2. При вакуумном способе никелирования (бомбардировка парами атомов никеля) диэлектриков Si02 и Тi02 прочность сцепления никеля ниже на 20—40%, чем при карбонильном, и имеет величину ~8—12 кгс/см2. По-видимому, сцепление металла с диэлектриками при карбонильном способе металлизации в основном обусловлено ван-дер-ваальсовыми силами, а не диффузией.

При нанесении металлических покрытий на полимерные материалы (например, лавсан, капрон, полиамид, полипропилен и др.) решающую роль играет химическая природа полимера: чем более четко выражены электронодонорные свойства функциональных групп полимеров, тем выше адгезия к ним металла.

Глава 4. Химическая реакция

создает не только микросхему

Теоретические и экспериментальные исследования по изучению и разработке методов газофазной металлизации разложением легколетучих металлоорганических соединений, в частности карбонилов металлов, ведутся широким фронтом во многих научно-исследовательских институтах в Москве, Горьком и других городах. Все работы координируются Комиссией АН СССР по при

менению металлоорганических соединений при Научном совете по элементоорганической химии (председатель комиссии — академик Г. А. Разуваев).

За рубежом над этой проблемой также работают многие лаборатории и институты. В США такие работы проводятся в Мемориальном институте Бэттла и Научно-исследовательском центре Сан-Диего, их финансируют 12 промышленных фирм. Кроме того, фирма «Карбопил металл продакшн» в США занята разработками промышленных методов металлизации и изготовления литьевых форм, моделей и штампов разложением карбонилов металлов в газовой фазе.

В ФРГ исследования по получению металлических пленок и покрытий из газовой фазы сконцентрированы в Научно-исследовательском институте транспортных реакций (Мюнхен).

Во Франции работы по газофазным процессам проводятся в Научно-исследовательском институте металлургической химии.

В ГДР созданы специальные лаборатории, занимающиеся металлизацией из газовой фазы в Центральном институте физики твердого тела и материаловедения АН ГДР (Дрезден) и в Центральном институте физической химии АП ГДР (Берлин). Комбинат им. Вильгельма Пика в Мансфельде выпускает металлические формы, выращенные из карбонилов.

Обычно различают понятия «металлическая пленка» и «металлическое покрытие». Физические свойства металлических слоев существенно зависят от их толщины.

К тонким «металлическим пленкам» относятся металлические слои толщиной от 100 до 50 000 А. Нижнее ограничение этого интервала связано с тем, что при толщине менее 100 А пленка перестает быть сплошной и представляет собой отдельные разорванные участки (островки), что приводит к резкому изменению ее свойств, например к уменьшению ее электропроводности.

Кроме термина «металлическая пленка», существует и термин «металлическое покрытие». К ним относятся более толстые металлические слои толщиной свыше 50 000 А. Металлические покрытия с такой толщиной слоя непригодны для целей микроминиатюризации, зато незаменимы для многих других конкретных целей, о которых мы будем говорить ниже.

4.1. Пленки для микроминиатюрных

радиоэлектронных устройств

Несколько лет назад мировую прессу обошла фотография телевизора-малютки. Студент из Кембриджского университета К. Синклер сумел изготовить тринадцатиканальный телевизор с экраном, размер которого составил всего 5 см по диагонали. Владелец этого уникального телевизора мог принимать любую из тринадцати передач «Евровидения».

Но то, что 5—6 лет назад еще удивляло читателя, сегодня уже сплошь и рядом оказывается устаревшим. Так, одна из японских фирм сконструировала недавно микротелевизор с плоским экраном, вмонтированным в наручные часы.

В Соединенных Штатах Америки, по признанию известного публициста Вэнса Пакарда, культивируется «микрошпионаж»—подслушивание и слежка с помощью миниатюрных магнитофонов, радиопередатчиков и приемников. Так, например, в продаже имеются радиопередатчики, которые свободно можно вмонтировать в тюбик от губной помады или в авторучку.

В основе развития космической, ракетной и электронно-вычислительной техники лежит та же проблема микроминиатюризации, т. е. уменьшения веса и габаритов аппаратуры. Радиолампы, печатный монтаж, модульное и микромодульное конструирование и транзисторные схемы уступили теперь место пленочным схемам, позволяющим в 100 и даже в 1000 раз уменьшить габариты радиоэлектронной аппаратуры.

Карбонильный метод металлизации из газовой фазы в силу своих преимуществ перед физическими методами вакуумного испарения и катодного распыления с успехом может применяться для изготовления тонких моно- и полиметаллических пленок, используемых в качестве проводников (контактов), электросопротивлений, элементов-конденсаторов и индуктивностей в радиоэлектронике и полупроводниковой технике.

При получении тонких токопроводящих контактов карбонильным методом следует иметь в виду, что пленки из наиболее электропроводных металлов — меди, серебра и золота (электропроводность которых соответственно равна у•10-4=59; 62 и 45 Ом-1-см-1) трудно получить, так как карбонилы этих металлов (Cu(CO)Cl, Ag2S04(C0) и Au(CO)Cl) неустойчивы. Вместо этих

дорогих проводников могут успешно применяться никель, вольфрам и молибден (у.l0-4=14; 20 и 19 Ом-1-см-1), карбонилы которых (Ni(CO)4, W(CO)6 и Mo (СО) 6) выпускаются промышленностью.

Тонкие токопроводящие никелевые пленки для радиотехники получаются разложением ni(CO)4 на полированных стеклянных или кварцевых подложках, нагретых до 170—200° С при давлении 10—600 Па. Необходимая толщина пленок, обладающих достаточной электропроводностью, достигается в течение 15—20 мин.

С целью получения тонких никелевых и молибденовых пленок для полупроводниковой техники в качестве подложек используют кремниевые пластины диаметром от 20 до 200 мм, покрытие пленками Si02, Тi02, А1203, Si3Nt4, ZnS и др. На них наносятся никелевые и молибденовые покрытия путем разложения соответственно карбонилов Ni(CO)4 и Мо(СО)6.

Металлические покрытия получают в вакууме (—10—15 Па). Они наносятся либо в виде сплошного слоя, либо в виде отдельно расположенных металлических кружков разного диаметра. В качестве нагревателя часто используются графитовые пластины и держатели, в которых зажимается подложка. В держателях имеются отверстия требуемого размера, поэтому они одновременно являются теневыми масками (шаблонами). Пары карбонила металла подаются с обеих сторон в отверстия и разлагаются на подложке, создавая тонкий металлический слой, по форме соответствующий просверленным отверстиям.

Однако использование метода наложения шаблона при размерах его отдельных отверстий менее 1 мм не позволяет достичь четких границ рисунков. Поэтому, если необходимо получить пленку металла в виде очень мелких геометрических элементов, применяют фотолитографический метод травления. Для этого подложка вначале целиком металлизируется, а затем на металл наносится кислотоупорная светочувствительная эмульсия. После такой обработки подложка экспонируется через негатив с требуемым узором и затем проявляется. Ненужные участки металлической пленки вытравливаются в ванне с помощью соответствующего травителя.

Для того чтобы полупроводниковые структуры с карбонильными металлическими покрытиями можно

Страницы:    1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  ...  26  27  28  29  30   

_ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _

ЛИЧНЫЙ КАБИНЕТ:



запомнить  Регистрация

Металлоторговля:
Объявления
Прайсы (по торг. позициям)
Прайсы (в файлах)

Марки металлов
Калькулятор веса металла

Новости

Статьи

Металлография
Карбонилы металлов и металлорганические соединения
Выращивание металла в газовой фазе
Различные аспекты газофазной металлизации
Тугоплавкие соединения редкоземельных металлов
Измерение толщины металлических покрытий
• Размерная стабильность титановых сплавов
• Повышение сопротивления микропластическим деформациям медных сплавов

НОВЫЕ ОБЪЯВЛЕНИЯ

Ч 15:48 Труба 219х8 09Г2С ГОСТ 10704

Ц 15:47 Полоса бронзовая БрАЖН 10-4-4 ГОСТ 18175-78.

Ц 15:47 Полоса бронзовая 125x185x480 БрАЖМц10-3-2 ГОСТ 18175-78.

Ц 15:47 Полоса бронзовая БрАЖ9-4 ГОСТ 18175-78.

Ц 15:47 Полоса нихромовая Х20Н80 ГОСТ 12766.5-90.

Ц 15:47 Свинец С1, С2

Ц 15:47 лом титана кусок и стружка

Ц 15:47 Монель, константан, копель алюмель, хромель.

Ч 15:47 Фланцы нержавеющие разных типов. Всегда в складе.

Ч 15:47 Трубы нержавеющие разных диаметров AISI 304 и 316.

Ч 15:45 Краны нержавеющие раных типов присоединения.

Т 15:45 Трубы 325 х 6, 8, 9 мм стальные

НОВОСТИ

20 Января 2017 17:12
Трубогибы с индукционным нагревом

21 Января 2017 17:37
Выпуск стали на американских Великих озерах за неделю вырос на 0,7%

21 Января 2017 16:14
”РУСАЛ” рассматривает возможность продажи двух свердловских предприятий

21 Января 2017 15:10
Стоимость бразильского экспорта железной руды в декабре 2016 года выросла на 39%

21 Января 2017 14:23
”Группа ГМС” изготовила модульные компрессорные установки для Иркутской нефтяной компании

21 Января 2017 13:41
Заказчики пошли на мировую с ”ЧТЗ”

НОВЫЕ СТАТЬИ

Дробильное оборудование для горно-шахтной отрасли

Востребованные быстровозводимые и каркасные металлоконструкции

Классификация современной строительной арматуры

Шнек для цемента от компании ТензоТехСервис

Современные микросхемы - основные виды

Мелкие крепежи для электромонтажных, сантехнических и строительных работ

Латунная труба и прокат в промышленности

Муфта и ниппель по ДТР

3 способа обустройства выносных балконов

Стабилизаторы напряжения и их особенности

Промышленное холодильное оборудование

Вентиляторные градирни и комплектующие для них

Электрические шкафы и комплектующие для них

Никелевая лента 79НМ

Разработка плана ликвидации аварий

Легкие каркасные металлоконструкции

Современные системы кондиционирования

Комплектующие и фурнитура для мебели

Обои для жилых и общественных помещений

Завод по производству металлоконструкций

 ГЛАВНАЯ   МЕТАЛЛОТОРГОВЛЯ   ОБЪЯВЛЕНИЯ   ПРАЙСЫ   КОМПАНИИ   СТАТЬИ   РАБОТА   ФОРУМ   ГОСТы   МАРОЧНИК   КАЛЬКУЛЯТОР   БИРЖЕВЫЕ ЦЕНЫ   ВЫСТАВКИ  

Компания "РДМ" предлагает металлопрокат.

Рейтинг@Mail.ru

О портале : Информация и правила : Реклама : Тарифы для компаний : Наши контакты : Связаться : Личный кабинет : Регистрация

2009-2014 © Любое копирование материалов без активной ссылки на metallicheckiy-portal.ru запрещено!
Использование материалов в печатных изданиях только с разрешения администрации портала.